[發(fā)明專利]流體驅(qū)動(dòng)式截止閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410522903.6
• 申請(qǐng)日: 2014-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104514904B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西村康典
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 喜開(kāi)理株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F16K23/00
• 分類號(hào): F16K23/00;F17D3/01
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11219
• 代理人: 熊傳芳,蘇卉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種具有形成于主體的閥座、與閥座抵接或分離的閥芯、與閥芯一體地連結(jié)的驅(qū)動(dòng)部及供給用于對(duì)驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的壓縮流體的先導(dǎo)式開(kāi)閉閥的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥。

背景技術(shù)

以往，在半導(dǎo)體制造裝置的抗蝕劑供給裝置中，使用一體地形成有回吸閥和空氣驅(qū)動(dòng)式截止閥的裝置。在抗蝕劑供給工序中，要求高精度的抗蝕劑供給量控制。因此，需要對(duì)空氣驅(qū)動(dòng)式截止閥的隔膜閥芯的動(dòng)作進(jìn)行控制(開(kāi)閉控制)。例如參照專利文獻(xiàn)1。在這種情況下，空氣驅(qū)動(dòng)式截止閥的開(kāi)閉控制使用電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器。電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器一般具有供氣用電磁閥和排氣用電磁閥，適當(dāng)控制提供給電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器的一次壓力，通過(guò)電信號(hào)將二次壓力調(diào)節(jié)為恒定。

通過(guò)電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器的控制來(lái)控制隔膜閥芯的動(dòng)作，調(diào)節(jié)由隔膜閥芯產(chǎn)生的水擊現(xiàn)象。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平5－346185號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)平11－82763號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2004－138178號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：日本專利第5061258號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)5：日本特開(kāi)2010－223264號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

但是，在以往的空氣驅(qū)動(dòng)式截止閥中存在如下的問(wèn)題。

從輸入閉閥或開(kāi)閥信號(hào)起到隔膜閥芯開(kāi)始動(dòng)作時(shí)間久，處理工序比較耗時(shí)。

隔膜閥芯的開(kāi)閉時(shí)間的再現(xiàn)性由電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器的控制精度決定。因此，當(dāng)隔膜閥芯閉閥時(shí)，在隔膜閥芯的開(kāi)閉時(shí)間的再現(xiàn)性中存在偏差。該開(kāi)閉時(shí)間是指閥開(kāi)始打開(kāi)的時(shí)機(jī)和閥開(kāi)始關(guān)閉的時(shí)機(jī)的閥的移動(dòng)速度。近年來(lái)，對(duì)抗蝕劑的供給精度的要求增高，該偏差成為問(wèn)題，出現(xiàn)與回吸閥的動(dòng)作的相對(duì)關(guān)系變動(dòng)的問(wèn)題。

當(dāng)電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器長(zhǎng)時(shí)間使用時(shí)，存在發(fā)熱的問(wèn)題。當(dāng)因電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器的發(fā)熱而使回吸閥的樹(shù)脂制主體產(chǎn)生變形時(shí)，構(gòu)成上述偏差的原因。另外，因電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器的發(fā)熱也構(gòu)成抗蝕液的特性發(fā)生變化的原因。

在使隔膜閥從閥座離開(kāi)而開(kāi)閥時(shí)，響應(yīng)緩慢，處理工序比較耗時(shí)。另外，由于再現(xiàn)性差，響應(yīng)時(shí)間存在偏差，所以存在所供給的抗蝕劑量產(chǎn)生偏差的問(wèn)題。

本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而作為的，其目的在于提供一種能夠提高隔膜閥芯的開(kāi)閉時(shí)間的再現(xiàn)性并且能夠加快開(kāi)閥時(shí)/閉閥時(shí)的響應(yīng)性的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥。

(1)為了解決上述課題，本發(fā)明的一方式的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥具有：形成有入口流路和出口流路的主體；形成于所述主體的閥座；與所述閥座抵接或分離的閥芯；與所述閥芯一體地連結(jié)的驅(qū)動(dòng)部；及供給用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)部的壓縮流體的先導(dǎo)式開(kāi)閉閥，所述流體驅(qū)動(dòng)式截止閥的特征在于，所述先導(dǎo)式開(kāi)閉閥具有：(a)第一針型閥、變更所述第一針型閥的開(kāi)度的第一馬達(dá)及僅使從所述先導(dǎo)式開(kāi)閉閥側(cè)流向所述驅(qū)動(dòng)部側(cè)的壓縮流體流過(guò)的第一止回閥；(b)第二針型閥、變更所述第二針型閥的開(kāi)度的第二馬達(dá)及僅使從所述驅(qū)動(dòng)部側(cè)流向所述先導(dǎo)式開(kāi)閉閥側(cè)的壓縮流體流過(guò)的第二止回閥，所述第一針型閥及第二針型閥分別具有針型閥芯和針型閥座，在所述第一馬達(dá)與所述第一針型閥之間具備上下移動(dòng)部件，在所述第二馬達(dá)與所述第二針型閥之間具備上下移動(dòng)部件，通過(guò)驅(qū)動(dòng)所述第一馬達(dá)及第二馬達(dá)，經(jīng)由所述上下移動(dòng)部件使所述針型閥芯與所述針型閥座相對(duì)移動(dòng)。

(2)在上述(1)所述的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥中，優(yōu)選為，所述驅(qū)動(dòng)部的活塞是隔膜方式，所述第一馬達(dá)及第二馬達(dá)是步進(jìn)馬達(dá)。

(3)在上述(1)所述的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥中，優(yōu)選為，所述流體驅(qū)動(dòng)式截止閥與具有入口流路的回吸閥一體地構(gòu)成，所述流體驅(qū)動(dòng)式截止閥的出口流路與所述回吸閥的所述入口流路連通，所述流體驅(qū)動(dòng)式截止閥與所述回吸閥聯(lián)動(dòng)。

(4)在上述(2)或(3)所述的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥中，優(yōu)選為，還具有與所述回吸閥的出口流路連通的噴嘴和設(shè)置于該噴嘴的前端的傳感器，通過(guò)所述傳感器來(lái)檢測(cè)所述噴嘴中的流體的狀態(tài)，基于該傳感器的檢測(cè)結(jié)果使所述第一針型閥的開(kāi)度變化，調(diào)整所述隔膜閥芯的閉閥速度，基于所述傳感器的檢測(cè)結(jié)果使所述第二針型閥的開(kāi)度變化，調(diào)節(jié)所述隔膜閥芯的開(kāi)閥速度。

發(fā)明效果

具有上述結(jié)構(gòu)(1)的流體驅(qū)動(dòng)式截止閥具有如下所示的作用和效果。能夠加快使閥芯與閥座抵接/分離而進(jìn)行閉閥/開(kāi)閥時(shí)的響應(yīng)，能夠縮短處理工序時(shí)間。另外，先導(dǎo)式開(kāi)閉閥的驅(qū)動(dòng)控制不采用電動(dòng)氣動(dòng)式調(diào)節(jié)器那樣的壓力控制，而能夠采用基于針型閥的速度控制。因此，能夠降低隔膜閥芯的開(kāi)閉時(shí)間的偏差，能夠使與回吸閥的相對(duì)關(guān)系穩(wěn)定化。另外，能夠加快隔膜閥芯從閥座離開(kāi)而進(jìn)行開(kāi)閥時(shí)的響應(yīng)性。