[發明專利]一種芯片專用清洗治具在審
| 申請號： | 201410516166.9 | 申請日： | 2014-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN104289490A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發明（設計）人： | 周天毫 | 申請（專利權）人： | 蘇州速騰電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B13/00 | 分類號： | B08B13/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215129 江蘇省蘇州市高*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 芯片 專用 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種芯片專用清洗治具，包括底板和側板，所述側板包括平行的第一側板和第二側板、與第一側板垂直的第三側板和第四側板，其特征在于，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側板平行，所述豎板與第三側板平行，所述橫板的兩側均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側板和第二側板朝里的一側也連接有與第一側板垂直的限位板。
2.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述底板有多個，互相平行設置，所述第三側板和第四側板上開有多個相對的凹槽，可同時放置多個底板。
3.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述限位板的上端為斜面。
4.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述一個橫板上的多個限位板之間的間隔相等。
5.根據權利要求1或4所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述不同橫板上的限位板的長度相等。
6.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述豎板上開有網格狀通孔。
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