[發明專利]一種基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器

在審

• 申請號: 201410515228.4
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN104242041A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 何鐵鋒;陳義紅;陳聰;吳熱平
• 申請（專利權）人: 廣州安特激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/109
• 分類號: H01S3/109;H01S3/094
• 代理公司: 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃為

1.一種基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：包括1064nm波長諧振腔、355nm波長諧振腔、用于產生激光的泵浦模塊，用于將泵浦模塊產生的激光于1064nm波長諧振腔和355nm波長諧振腔之間切換的偏振補償器型波長自由切換系統，以及設置于1064nm波長諧振腔和355nm波長諧振腔出口端的輸出單元。?

2.根據權利要求1所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括全反鏡(3)和輸出鏡(14)，所述全反鏡(3)的光軸與輸出鏡(14)的光軸具有一夾角，所述1064nm波長諧振腔為由全反鏡(3)和輸出鏡(14)構成的諧振腔。?

3.根據權利要求2所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括依次設置的折疊鏡(9)和凹面鏡(12)，所述折疊鏡(9)和凹面鏡(12)構成的光路的光軸與全反鏡(3)的光軸具有一夾角，所述355nm波長諧振腔為由全反鏡(3)和凹面鏡(12)構成的諧振腔。?

4.根據權利要求3所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述355nm波長諧振腔的形狀為V形結構。?

5.根據權利要求3所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于折疊鏡(9)和凹面鏡(12)之間的倍頻單元，所述倍頻單元包括依次設置的二倍晶體(10)和三倍晶體(11)，所述二倍晶體(10)和三倍晶體(11)構成的光路的光軸與折疊鏡(9)和凹面鏡(12)構成的光路的光軸共線。?

6.根據權利要求5所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述偏振補償器型波長自由切換系統設于全反鏡(3)的輸出側，包括依次設置的起偏器(6)、補償器(7)和偏振分光棱鏡(8)，所述起偏器(6)和補償器(7)構成的光路的光軸與全反鏡(3)的光路共線，所述起偏器(6)用于產生一線S偏振光，所述補償器(7)用于調制光的偏振以產生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光；且當補償器(7)產生S偏振光時，該S偏振光經偏振分光棱鏡(8)輸出至1064nm波長諧振腔中產生1064nm波長激光，當補償器(7)產生P偏振光時，該P偏振光經偏振分光棱鏡(8)輸出至355nm波長諧振腔中產生355nm波長激光，當補償器(7)產生S+P偏振光時，該S+P偏振光經偏振分光棱鏡(8)輸出至1064nm波長諧振腔和355nm波長諧振腔中分別產生1064nm波長激光和355nm波長激光。?

7.根據權利要求5所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述泵浦模塊包括泵浦源(1)和晶體(4)，所述泵浦源(1)和晶體(4)分別設于全反鏡(3)的輸入側和輸出側，所述泵浦源(1)與全反鏡(3)之間還設有耦合單元，所述耦合單元包括兩個耦合鏡(2)。?

8.根據權利要求6所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：還包括設于晶體(4)與起偏器(6)之間的Q開關(5)。?

9.根據權利要求7所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述輸出單元包括反射鏡(15)和45°短通片(13)，所述反射鏡(15)用于將輸出鏡(14)所輸出的1064nm激光反射至45°短通片(13)，所述45°短通片(13)用于輸出反射鏡(15)所反射的1064nm激光或/和用于輸出折疊鏡(9)所輸出的355nm波長激光。?

10.根據權利要求8所述的基于偏振補償器的1064nm與355nm波長自由切換輸出激光器，其特征在于：所述耦合鏡(2)的兩面均鍍有808nm增透膜；所述全反鏡(3)為平面鏡，其左面鍍有808nm增透膜，右面鍍有808nm和1064nm高反膜；所述晶體(4)的兩面均鍍有1064nm增透膜；所述補償器(7)的兩面均鍍有1064nm增透膜；所述偏振分光棱鏡(8)的三面均鍍有1064nm增透膜；所述折疊鏡(9)為平凹鏡，其凹面曲率半徑為200mm，其凹面鍍有1064nm、532nm高反膜和355nm增透膜，其平面鍍有355nm高透膜；所述二倍晶體(10)的雙面均鍍有1064nm、532nm和355nm增透膜；所述三倍晶體(11)的雙面均鍍有1064nm、532nm和355nm增透膜；所述凹面鏡(12)的凹面曲率半徑為50mm，其凹面鍍有1064nm、532nm和355nm高反膜；所述45°短通片(13)的左面鍍有1064nm、532nm高反膜和355nm增透，其右面鍍有1064nm高反膜和355nm高透膜；所述輸出鏡(14)為平面輸出鏡，兩面均鍍有透過率為30％的1064nm透膜；所述反射鏡(15)的反射面鍍有1064nm高反膜。?