[發明專利]共振型磁力計

在審

• 申請號: 201410513564.5
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN105445681A
• 公開（公告）日: 2016-03-30
• 發明（設計）人: 溫瓌岸;張家夆
• 申請（專利權）人: 碩英股份有限公司
• 主分類號: G01R33/24
• 分類號: G01R33/24
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 湯喜友

1.一種共振型磁力計，包括：

一偵測器結構體，具有一質量塊，懸浮于該偵測器結構體；兩組位移偵測電極，配置在該偵測器結構體上，該質量塊所在平面上的第一方向X兩側；

一轉換器電路，連接該偵測器結構體的位移偵測電極，用于將由該位移偵測電極所輸出的偵測結果，轉變成電壓信號；及

一振動驅動電路，連接該轉換器電路的輸出，以將該輸出以電流型態提供給該偵測器結構體內的質量塊，作為振動驅動信號，用于驅動該質量塊產生振動；

其中，該振動驅動電路提供的電流以一第二方向Y流經該質量塊；

該第二方向Y為在該質量塊所在平面上，與該第一方向X直交的方向。

2.如權利要求1所述的共振型磁力計，其特征在于：該振動驅動電路包括一比較器電路，其輸入為該放大器的輸出，以及一參考電位，用于輸出該放大器輸出信號與該參考電位的比較結果，作為該質量塊的振動驅動信號。

3.如權利要求2所述的共振型磁力計，其特征在于：該參考電位為接地電位。

4.如權利要求1、2或3所述的共振型磁力計，其特征在于：該偵測器結構體的質量塊是以彈簧懸吊在該偵測器結構體上，該彈簧懸吊之處形成兩電極；該振動驅動電路通過該電極對該質量塊供應該第二方向Y的電流。

5.如權利要求1、2或3所述的共振型磁力計，其特征在于：該質量塊兩側伸出若干指狀突出，該位移偵測電極在相對于該指狀突的一側，也各延伸出若干指狀突出，且該位移偵測電極的指狀突出分別與對應的質量塊的指狀突出沿該Y方向交錯配置。

6.如權利要求1、2或3所述的共振型磁力計，其特征在于：該質量塊與位移偵測電極均包括一層或多層金屬層，以及包覆該金屬層或界接兩金屬層的介電層。

7.如權利要求1、2或3所述的共振型磁力計，其特征在于：該轉換器電路還包括一放大器，用于將該電壓信號放大。

8.如權利要求7所述的共振型磁力計，其特征在于：該放大器包括一濾波器，用于濾出該位移偵測電極偵測信號中，代表磁場強度的成分。

9.如權利要求8所述的共振型磁力計，其特征在于：濾波器包括一低通濾波器。