[發明專利]一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置

無效

• 申請號: 201410512413.8
• 申請日: 2014-09-28
• 公開（公告）號: CN104316104A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 崔洋;于淼;李佩玥;彭吉;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，包括溫度傳感器(2)、相對壓力傳感器(5)、絕對壓力傳感器(6)、分氣塊(4)、安全閥(7)、電平轉換電路(8)和VCR氣體接頭(3)；

多個溫度傳感器(2)分布在光刻投影物鏡(1)內部，所述光刻投影物鏡(1)采氣口通過傳輸管路與所述分氣塊(4)的進氣口連接，所述分氣塊(4)的三個出氣口分別與相對壓力傳感器(5)、絕對壓力傳感器(6)和安全閥(7)連接，所述安全閥(7)出氣端通過氣管(9)與VCR氣體接頭(3)連接；

所述電平轉換電路(8)將溫度傳感器(2)、相對壓力傳感器(5)和絕對壓力傳感器(6)采集到的模擬信號轉化為數字信號，并將所述數字信號傳輸到環境控制機箱(10)。

2.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述多個溫度傳感器(2)至少是3個，分別布置在光刻投影物鏡(1)的上、中和下部分。

3.根據權利要求1或2所述的一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(2)為熱敏電阻類溫度傳感器、鉑電阻類溫度傳感器或熱電偶類溫度傳感器。

4.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述光刻投影物鏡(1)采氣口通過傳輸管路與所述分氣塊(4)的進氣口連接具體為：所述分氣塊(4)的進氣口端通過高純氣體管路與VCR氣體接頭(3)連接，VCR氣體接頭(3)通過氣管(9)與光刻投影物鏡(1)上采氣口連接。

5.根據權利要求4所述的一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述氣管(9)的長度D的取值范圍為：1m≤D≤3m。

6.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡(1)內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述相對壓力傳感器(5)的正壓端通過氣體管路與分氣塊(4)的一個出氣口端連接，負壓端與大氣環境連通，相對壓力傳感器(5)的電氣輸出端通過傳輸線纜與電平轉換電路(8)連接。

7.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述絕對壓力傳感器(6)通過氣體管路與分氣塊(4)的一個出氣口端連接，絕對壓力傳感器(6)的電氣輸出端通過傳輸線纜與電平轉換電路(8)連接。

8.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡內部腔室高精度氣體測量裝置，其特征在于，所述電平轉換電路(8)與環境控制機箱(10)的距離d的取值范圍為：10m≤d≤15m。