[發(fā)明專利]用于研磨藍寶石基板的研磨組合物及其應用有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410509452.2 | 申請日： | 2014-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN104327741A | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 顧泉 | 申請（專利權(quán)）人： | 顧泉 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海麥其知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董紅曼 |
| 地址： | 201203 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 研磨 藍寶石 組合 及其 應用 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于研磨藍寶石基板的研磨組合物，其特征在于，所述研磨組合物包括研磨粒、安定劑、界面活性劑和水；其中，所述研磨粒含量為15％-40％重量百分比；所述安定劑含量為0.005％-0.5％重量百分比；所述界面活性劑含量為0.005％-1％重量百分比。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨組合物，其特征在于，所述研磨粒為二氧化硅、三氧化二鋁、二氧化鈰、二氧化鋯、二氧化鈦或其任意組合。
3.如權(quán)利要求2所述的研磨組合物，其特征在于，所述研磨粒為二氧化硅。
4.如權(quán)利要求1所述的研磨組合物，其特征在于，所述研磨粒的平均粒徑范圍為70nm-140nm。
5.如權(quán)利要求1所述的研磨組合物，其特征在于，所述研磨粒粒徑分布半高寬不大于15nm。
6.如權(quán)利要求1所述的研磨組合物，其特征在于，所述安定劑為羥丙基纖維素、羥丙基甲基纖維素。
7.如權(quán)利要求1所述的研磨組合物，其特征在于，所述界面活性劑為椰油酰單乙醇胺、椰油酰二乙醇胺、月桂酰二乙醇胺或其任意組合。
8.如權(quán)利要求1所述的研磨組合物在研磨藍寶石基板中的應用。
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