[發明專利]一種溫濕度傳感器在審
| 申請號： | 201410508317.6 | 申請日： | 2014-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN104236739A | 公開（公告）日： | 2014-12-24 |
| 發明（設計）人： | 谷文;張珽;祁明鋒;劉瑞;沈方平;丁海燕 | 申請（專利權）人： | 蘇州能斯達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01K7/16 | 分類號： | G01K7/16;G01N27/22 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 麥小嬋;郝傳鑫 |
| 地址： | 215123 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 溫濕度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種溫濕度傳感器，其特征在于，包括襯底、導電層、濕度敏感層、測試電極和金屬電極；
所述導電層形成于所述襯底上，所述濕度敏感層形成于所述導電層上且完全覆蓋所述導電層，所述金屬電極固定于所述濕度敏感層上，所述測試電極固定于所述襯底上且與所述導電層連接。
2.如權利要求1所述的溫濕度傳感器，其特征在于，所述金屬電極包括第一梳齒和第二梳齒；所述第一梳齒與所述第二梳齒交錯排列。
3.如權利要求1或2所述的溫濕度傳感器，其特征在于，所述金屬電極為鋁或金電極。
4.如權利要求3所述的溫濕度傳感器，其特征在于，所述襯底為半導體硅襯底。
5.如權利要求3所述的溫濕度傳感器，其特征在于，所述導電層由碳化硅、多孔硅或金屬材料制成。
6.如權利要求3所述的溫濕度傳感器，其特征在于，所述濕度敏感層由聚酰亞胺、聚苯乙烯或醋酸纖維制成。
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