[發明專利]滾動灰度光刻的DMD動作方法有效
| 申請號： | 201410508288.3 | 申請日： | 2014-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN104298077A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發明（設計）人： | 許家林;孫強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 張偉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 滾動 灰度 光刻 dmd 動作 方法 | ||
1.一種滾動灰度光刻的DMD動作方法，其特征在于，包括以下步驟：?
在光刻過程中，DMD相對于光刻膠每移動一列，微鏡狀態存儲RAM中只增加一行新的數據，并且其他的數據只做移動；?
使用DMD的255個像素對光刻膠的一個像素進行255次曝光來實現256級灰度；每次曝光的時間長度相等。?
2.根據權利要求1所述的滾動灰度光刻的DMD動作方法，其特征在于，?
光刻膠上的每一個像素對應的255個DMD像素采用的編碼方式是：將灰度值按照低位在前的方式寫成8位二進制碼，在將第i位的數值Q替換成2i-1個Q，共255位二值數據。?
3.根據權利要求1所述的滾動灰度光刻的DMD動作方法，其特征在于，?
對于8位灰度使用8個RAM存儲塊來存儲DMD的動態狀態，最終使用每個塊的部分內容來合成最終的DMD顯示狀態。?
4.根據權利要求3所述的滾動灰度光刻的DMD動作方法，其特征在于，?
每個塊的更新方法為：按照先進先出的原則將最早的1列元素丟棄，加入新的1列元素到隊尾。?
5.根據權利要求1所述的滾動灰度光刻的DMD動作方法，其特征在于，?
RAM塊的數據來源為：新一列數據按照位的權重，按照位平面分別加入到對應的塊中。?
6.根據權利要求1所述的滾動灰度光刻的DMD動作方法，其特征在于，?
使用1024x768的DMD實現n位灰度滾動光刻，該算法的RAM存儲塊的大小為
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