[發明專利]一種沉積膜的裝置

在審

• 申請號: 201410507630.8
• 申請日: 2014-09-28
• 公開（公告）號: CN105525271A
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 林朝暉
• 申請（專利權）人: 福建省輝銳材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/00
• 分類號: C23C16/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種沉積膜的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

處理管，所述處理管包括第一反應空間和第二反應空間，第二反應空間與 第一反應空間由隔離部隔開使氣體不相導通，每一反應空間中均放置有基底；

加熱源，所述加熱源包括加熱元件，所述加熱元件形成了中空加熱空間， 所述處理管穿過所述加熱空間；

導軌，所述加熱源由所述導軌支撐，從而沿著導軌的縱向軸線滑動，在第 一反應空間及第二反應空間轉換加熱；

至少一反應氣體管，所述反應氣體管可引入第一反應氣體流入第一反應空 間，并引入第二反應氣體流入到第二反應空間；及至少一排氣管，所述排氣管 從所述第一反應空間和從所述第二反應空間排出氣體。

2.根據權利要求1所述的沉積膜的裝置，其特征在于：所述裝置還包括與 處理管連接的適配器及適配器支撐部，所述適配器分別與反應氣體管排氣管連 通，所述適配器通過適配器支撐部滑動的連接在導軌上，從而能容納不同長度 的管材。

3.根據權利要求2所述的沉積膜的裝置，其特征在于：所述適配器包括水 冷卻法蘭和減速器；所述減速器具有左法蘭，右法蘭，上法蘭和下法蘭；下法 蘭用作反應氣體管的進氣口的端口，而上法蘭用作排氣口的端口；所述處理管 的端部穿過水冷卻法蘭及減速器的右法蘭；所述適配器還包括放置在水冷卻法 蘭和右法蘭之間的O形圈及螺栓用來固定減速器及水冷卻法蘭；水冷卻法蘭和 右法蘭形成的角度擠壓O形圈與處理管外壁，在適配器與處理管之間形成氣密 密封。

4.根據權利要求2所述的沉積膜的裝置，其特征在于：所述適配器支撐部 高度可調從而可以容納不同直徑的管材。

5.根據權利要求1所述的沉積膜的裝置，其特征在于：所述反應氣體管及 排氣管均為兩個，分別獨立控制第一反應空間及第二反應空間。

6.根據權利要求1所述的沉積膜的裝置，其特征在于：所述反應氣體管包 括氣體源及流量控制器。

7.根據權利要求1所述的沉積膜的裝置，其特征在于：所述排氣管包括依 次連接的壓力傳感器、節流閥、圈及旋轉式機械泵。