[發明專利]干涉濾波器、光學濾波器裝置、光模塊以及電子設備

在審

• 申請號: 201410505597.5
• 申請日: 2014-09-26
• 公開（公告）號: CN104516041A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 佐野朗
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;G02B26/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術領域

本發明涉及干涉濾波器、光學濾波器設備、光模塊以及電子設備。

背景技術

以往，已知有如下的干涉濾波器(例如，參照專利文獻1)：具有一對相互相對的反射膜，并通過改變此反射膜間的距離(間隙尺寸)，從而從測量對象的光選擇規定波長的光并使其射出。

此專利文獻1的干涉濾波器中，在各反射膜上配置有電極，通過向電極間施加電壓，從而可以改變反射膜間的間隙尺寸。另外，使用電介質多層膜作為反射膜，能夠使光譜的半值寬度小的(分辨率高的)光透過。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

專利文獻1：日本特開平11-142752號公報

可是，在干涉濾波器中，為了除去被保持在反射膜上的電荷，在反射膜上設置用于防止帶電的電極的結構、在各個反射膜上配置了用于檢測靜電容量的電極并檢測這些電極間的靜電容量的結構等在反射膜上設置電極的構成被提出。此時，形成從反射膜上的電極向反射膜的外側被引出的引出電極，從被設置在引出電極的端子向電路進行電連接。

但是，如果由于蒸鍍、濺射等，在反射膜的端面(正交于與另一個反射膜相對的上表面的側面)形成電極、引出電極，就存在例如在該端面上電極、引出電極斷線這樣的問題。此時，存在對反射膜上的電極不能恰當地取得電導通、配線可靠性降低這一問題。特別是，如上述專利文獻1，當使用電介質多層膜作為反射膜時，由于相比于單層的反射膜，厚度尺寸變大，所以斷線的風險變得更高。

發明內容

本發明的目的在于提供能夠提高配線可靠性的干涉濾波器、光學濾波器裝置、光模塊以及電子設備。

本發明的干涉濾波器的特征在于，具備：第一反射膜，由多個層構成，且該多個層的最外面的層是導電層；以及第二反射膜，與所述第一反射膜相對，所述第一反射膜具有：第一區域，與所述第二反射膜相對；以及第二區域，從所述第一區域的外周緣連續至該第一區域外，所述第二區域的所述導電層的一部分是能配線連接的端子部。

在本發明中，第一反射膜的最外面為導電層，該第一反射膜具有：第一區域，與第二反射膜相對；以及第二區域，從第一區域連續到外側，第二區域的一部分是例如能夠連接來自外部的配線的端子部。

在如上結構中，如果對第二區域的端子部連接配線，則第一反射膜的導電層整體被電連接。因此，在第一反射膜的第一區域設置的導電層能夠作為電極發揮作用，例如，能夠防止第一反射膜中的帶電，能夠實施靜電容量的檢測。此時，在本發明中，第一反射膜的最外面層為導電層，該導電層也從第一區域連續到第二區域被設置。因此，例如，將從反射膜的表面通過反射膜的端面延伸到設置有該反射膜的基板的外圍部的連接電極另外設置的情況相比，能夠降低斷線的風險，能夠提高干涉濾波器中的配線可靠性。

另外，例如，第一反射膜被設置在基板上，在該基板存在槽等凹部、突起等凸部，即使以橫跨(橫切)這些凹凸部上的方式形成第一反射膜的情況下，利用由多個層構成的第一反射膜能夠使凹凸部的傾斜面、邊緣部變得光滑，因此，多個層的最外面的導電層被設置在光滑的傾斜面或平面上，導電層的斷裂被抑制。因此，不管設置第一反射膜的基板的形狀，均能實現干涉濾波器中的配線可靠性的提高。

在本發明的干涉濾波器中，優選所述第二反射膜由多個層構成，該多個層的最外面的層是導電層，所述第二反射膜具有：第三區域，與所述第一反射膜的第一區域相對；以及第四區域，從所述第三區域的外周緣連續至該第三區域外，所述第四區域的所述導電層的一部分是能配線連接的端子部。

而且，在本發明中，第二反射膜也由多個層構成，并且，其最外面為導電層。并且，此第二反射膜具有：第三區域，與第一反射膜的第一區域相對；以及第四區域，從該第三區域向外側延伸，在第四區域的一部分設置有能夠連接配線的端子部。因此，與第一反射膜相同，第二反射膜也能夠作為電極發揮作用。另外，與上述第一反射膜相同，因為從第三區域連續至第四區域地形成導電層，所以與上述發明相同，能夠降低斷線的風險，且能夠提高干涉濾波器中的配線可靠性。

在本發明的干涉濾波器中，優選還具備：第一基板，設置有所述第一反射膜；第二基板，設置有所述第二反射膜，并與所述第一基板相對；第一電極，設置在所述第一基板；以及第二電極，設置在所述第二基板，并與所述第一電極相對，在從基板厚度方向俯視觀察所述第一基板時，所述第一電極設置在所述第一區域之外，所述第二電極設置在所述第二反射膜的導電層上。