[發明專利]一種鍍膜基片的鍍膜夾具

在審

• 申請號: 201410504081.9
• 申請日: 2014-09-26
• 公開（公告）號: CN104313547A
• 公開（公告）日: 2015-01-28
• 發明（設計）人: 董新妹
• 申請（專利權）人: 董新妹
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 胡根良

1.一種鍍膜基片的鍍膜夾具，包括上夾板和下夾板，所述下夾板上設有安裝孔，所述安裝孔上設有定位臺階，所述上夾板和定位臺階間壓緊有基片，其特征在于：所述上夾板上連接有與安裝孔相對的保護帽，所述保護帽包括空心的支柱，所述支柱的底部設有膨脹套，所述支柱的頂部連接有注氣管，所述膨脹套充氣膨脹后抵靠在基片的底部。

2.根據權利要求1所述的一種鍍膜基片的鍍膜夾具，其特征在于：所述上夾板上設有連接所述支柱的定位孔，所述支柱與定位孔固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種鍍膜基片的鍍膜夾具，其特征在于：所述上夾板上設有連接所述支柱的連接孔，所述支柱穿過連接孔固定連接有升降板，所述升降板上連接有驅動件。

4.根據權利要求3所述的一種鍍膜基片的鍍膜夾具，其特征在于：所述驅動件為氣缸。

5.根據權利要求1所述的一種鍍膜基片的鍍膜夾具，其特征在于：所述膨脹套為橡膠套。

6.根據權利要求1至5中任意一項所述的一種鍍膜基片的鍍膜夾具，其特征在于：所述下夾板上設置若干所述安裝孔，所述上夾板上連接若干與安裝孔一一對應的所述保護帽。