[發明專利]原位微納米壓痕/劃痕測試儀

有效

• 申請號: 201410502161.0
• 申請日: 2014-09-25
• 公開（公告）號: CN104297082A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 趙宏偉;侯鵬亮;付海雙;張鵬;范尊強;董景石;馬志超;李建平;鐘月曦;劉長宜
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40
• 代理公司: 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 22100
• 代理人: 王怡敏

1.一種原位微納米壓痕/劃痕測試儀，其特征在于：壓電疊堆（9）安裝在柔性鉸鏈（10）內部凹槽中，通過壓電疊堆（9）驅動柔性鉸鏈（10），進而帶動載物臺（13）實現精密進給完成壓痕實驗；柔性鉸鏈（10）緊固在連接板a（6）上，所述連接板a（6）安裝在精密定位平臺a（23）上，通過手柄a（7）帶動連接板a（6）從而實現載物臺（13）的粗進給；激光位移傳感器（22）安裝在精密定位平臺b（20）上，激光位移傳感器（22）通過擋板（5）實現對載物臺（13）的位移檢測，精密定位平臺b（20）緊固在底座（18）上，手柄b（19）、手柄c（21）帶動精密定位平臺b（20）實現激光位移傳感器（22）的微調；精密定位平臺a（23）安裝在連接板b（8）上，伺服電機（1）驅動渦輪（2）帶動蝸桿（3），蝸桿（3）通過緊固螺釘（4）與絲杠（12）連接，絲杠（12）與連接板b（8）相連，伺服電機?（1）安裝在底座（18）上，由伺服電機?（1）帶動精密導軌滑塊（11）進而帶動連接板b（8）從而實現載物臺（13）橫向進給，完成劃痕實驗。

2.根據權利要求1所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀，其特征在于：所述的底座（18）上固定安裝二維微位移平臺（17），連接板c（16）緊固在二維微位移平臺（17）上，精密力傳感器（15）緊固在連接板c（16）上，精密力傳感器（15）的前端安裝金剛石壓頭（14），通過二維微位移平臺（17）調整金剛石壓頭（14）的高度。

3.根據權利要求2所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀，其特征在于：所述的精密力傳感器（15）為二維應變片式傳感器，可以同時測量橫向力和縱向力，二維力傳感器和柔性鉸鏈串聯；所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀分別設計粗進給和精密進給機構，粗進給由伺服電機驅動，精密進給由壓電疊堆驅動柔性鉸鏈進行。

4.根據權利要求1或2或3所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀，其特征在于：所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀的總體尺寸為178mm×165?mm×80mm。

5.根據權利要求1或2或3所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀，其特征在于：所述的原位微納米壓痕/劃痕測試儀置于掃描電子顯微鏡SEM、透射電子顯微鏡TEM下進行實時觀測。