[發明專利]一種限位旋轉式激光切割裝置

在審

• 申請號: 201410501859.0
• 申請日: 2014-09-27
• 公開（公告）號: CN104353934A
• 公開（公告）日: 2015-02-18
• 發明（設計）人: 魏志凌;孫杰;王武懷
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/08;B23K26/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于激光切割領域，涉及一種限位旋轉式激光切割裝置及其切割掩模板的方法。

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背景技術

有機發光顯示器（Organic?Light-Emitting?Diode，簡稱OLED）是下一代的顯示技術，與目前使用的液晶顯示器(?Liquid?Crystal?Display?,簡稱LCD)顯示技術相比，具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優點，會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術。

在OLED顯示器的制作過程中，其中有機層的沉積會使用到掩模板，圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機材料的示意圖。掩模板10由于比較薄，在蒸鍍前會通過相關工藝固定在掩模外框11上，圖2所示為掩模板固定在掩模外框11上的平面示意圖。蒸鍍時，掩模板10借助掩模外框11固定在支撐臺12上，蒸鍍源13中的有機材料通過蒸發擴散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置設置有開口100，有機材料通過開口100沉積在沉積基板14上對應的位置處，形成有機沉積層。

在技術要求上，有機沉積層的沉積質量對后期產品質量有非常大的影響，故在蒸鍍沉積過程中對沉積基板14上沉積區域的邊緣精度及均勻性要求非常高。為了能夠實現有機材料很好的蒸鍍到沉積基板14上，必須減少掩模板開口邊緣對有機沉積層的影響，即減少如圖3所示的蒸鍍效應（由于掩模板開口邊緣對有機材料130沉積的遮擋影響，導致有機沉積層131邊緣厚度不均勻），掩模板的開口截面往往設計成圖4所示的“凹形”結構，該“凹形”結構一般是通過化學蝕刻工藝制得，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術會對環境帶來污染。

基于此，業界探索采用環境友好的激光切割工藝制作掩模板，以期在不損害環境的前提下制作能夠滿足OLED有機層沉積用的掩模板，中國專利201320497009.9公開了一種用于OLED蒸鍍用掩模板切割的激光切割裝置，其具體結構如圖5所示，激光切割頭3傾斜間接的可以通過固定部件2安裝在旋轉部件1的旋轉端部上，亦可以直接安裝在旋轉部件1的旋轉端部上，但在實際采用該激光切割裝置進行掩模板的切割時會有以下缺陷：受限于裝配本身的原因，激光切割頭3發射的激光在掩模板上的切割點很難落在旋轉部件1的旋轉中心軸線上，從而導致激光切割裝置在旋轉切割時（即切割完一條邊，進行下一條邊的切割時），掩模板上本應為矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現象。

因此，業界需要一種激光切割裝置，以期能夠更好的滿足掩模板高質量開口的切割。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種限位旋轉式激光切割裝置，旨在克服現有技術中的缺陷，以更好的滿足具有高精密開口的掩模板的切割應用。

根據本專利背景技術中對現有技術所述，目前OLED蒸鍍用掩模板制作所使用的方法有兩種：其一，通過蝕刻工制作橫截面為“凹形”結構的開口，然而基于蝕刻工藝的掩模板制作技術會對環境帶來污染；其二，通過傾斜設置的激光頭在掩模板上形成“錐臺”結構的開口，但由于激光切割頭的設計結構局限性，激光切割頭發射的激光在掩模板上的切割點很難落在旋轉部件的旋轉中心軸線上，從而導致激光切割裝置在旋轉切割時（即切割完一條邊，進行下一條邊的切割時），掩模板上本應為矩形開口的開口拐角處會圓角或者拐角處無法切除的現象。

本發明所提供的一種限位旋轉式激光切割裝置，其包括：支撐機構、旋轉機構、滑臺機構、激光切割頭；所述支撐機構用來支撐所述激光切割裝置，所述激光切割裝置其它所有部件均直接或間接安裝在所述支撐機構上；所述旋轉機構直接安裝在所述支撐機構上，所述旋轉機構包括動力旋轉裝置、旋轉端部，所述旋轉端部可在所述動力旋轉裝置的帶動下進行旋轉；所述滑臺機構固定在所述旋轉機構的所述旋轉端部下方；所述激光切割頭傾斜的安裝在所述滑臺機構上；其特征在于：通過所述滑臺機構，可以調整所述激光切割頭所發射激光的焦點相對所述旋轉機構的旋轉中心軸線的位置。

采用本發明所提供的激光切割裝置進行加工時，由于激光切割頭設置為傾斜狀態，其與所加工的板材（板材加工后形成掩模板）成一定的傾斜角度，故其在板材上切割出的開口的側壁與板面呈一定的角度。

本發明所提供的激光切割裝置具有調節所述激光切割頭位置的滑臺機構，其具有較高調節精度，通過所述滑臺機構，可以將所述激光切割頭所發射激光的焦點調節到所述旋轉機構的旋轉中心軸線上，從而使得所述激光切割裝置具有較好的掩模板開口拐角切割功能。