[發明專利]一種OLED掩模組件的制備方法

有效

• 申請號: 201410501850.X
• 申請日: 2014-09-27
• 公開（公告）號: CN104313534B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 魏志凌;王峰;徐瑞祥
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種OLED掩模組件的制備方法，包括：S1、組裝掩模基板步驟：通過激光焊接工藝將所述掩模基板安裝于外框；S2、制作掩模開口步驟：通過激光切割頭發射的與掩模基板所在平面成銳角的激光束在安裝于外框的掩模基板上按照預設的運行軌跡運行并在掩模基板上形成掩模開口，從而形成掩模組件，掩模開口靠近所述激光頭一側的邊緣圍成的面積S1小于背離所述激光頭一側的邊緣圍成的面積S2。通過本發明提供的OLED掩模組件的制備方法，在滿足環境友好的前提下，能夠較好的滿足掩模板高質量開口的要求，即通過激光切割工藝制作掩模開口不會產生環境污染，同時有效減小蒸鍍時掩模板的掩模開口的遮蔽效。

技術領域

本發明屬于平面顯示行業，涉及OLED顯示屏產業，尤其涉及一種OLED 掩模組件的制備方法。

背景技術

有機發光顯示器（Organic Light-Emitting Diode，簡稱OLED）是下一代的顯示技術，與目前使用的液晶顯示器( Liquid Crystal Display ,簡稱LCD)顯示技術相比，具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優點，會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術。

在OLED顯示器面板的制作過程中，其中有機層的沉積會使用到掩模板，圖1所示為采用掩模板10蒸鍍有機材料的示意圖。由于掩模板10比較薄，在蒸鍍前會通過相關工藝固定在外框11上，圖2所示為掩模板固定在外框11上的平面示意圖。蒸鍍時，掩模板10借助外框11固定在支撐臺12上，蒸鍍源13中的有機材料通過蒸發擴散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置設置有開口100，有機材料通過開口100沉積在沉積基板14上對應的位置處，形成有機沉積層。

在技術要求上，有機沉積層的沉積質量對后期產品質量有非常大的影響，故在蒸鍍沉積過程中對沉積基板14上沉積區域的邊緣精度及均勻性要求非常高。為了能夠實現有機材料很好的蒸鍍到沉積基板14上，必須減少掩模板開口100邊緣對有機沉積層的影響，即減少如圖3所示的遮蔽效應（由于掩模板開口100邊緣對有機材料30沉積的遮擋影響，導致有機沉積層31邊緣厚度不均勻），為減小掩模板開口對有機材料的遮蔽效應，掩模板的開口100截面往往設計成圖4所示的“凹形”結構，該“凹形”結構一般是通過化學蝕刻工藝制得，然而蝕刻工藝的掩模板制作技術會對環境帶來污染。

基于此，業界希望采用環境友好的工藝制作掩模板，以期在不損害環境的前提下制作能夠滿足OLED有機層沉積用的掩模板，通過激光切割工藝制作掩模板具有環境友好的優點，但傳統激光設備切割薄材形成的掩模板10的開口形貌如圖3所示，如此形貌的開口帶來的缺陷如上所述，其不能滿足OLED顯示器面板有機層高質量沉積的要求。

韓國專利10-2011-0088212公開了一種采用激光切割掩模板開口的技術方案，具體如圖5所示，激光頭51發射的激光束與掩模基板成一定夾角θ1，通過激光頭射出的激光可以在掩模板上形成如圖5所示的“錐臺形”開口結構，此種開口結構在蒸鍍過程中可以避免圖3所示的遮蔽效應。但是，在實際采用該方法制備掩模板時，由于制作掩模板的板材厚度不是絕對的一致，以及激光的特性等原因，掩模板的開口會存在以下缺陷：掩模板靠近激光頭51的一面形成的大開口的開口邊緣直線度比較好，而背離激光頭51的一面形成的小開口的開口邊緣直線度比較差。而在蒸鍍過程中，掩模板背離激光頭51形成的小開口面需要緊貼蒸鍍沉積基板14，即掩模板的小開口面決定有機沉積層的外形結構，如此，開口邊緣直線度不好的小開口面會間接的影響有機沉積層邊緣質量。

故此，業界亟需探索新的方式制作掩模板，以期在滿足環境友好的前提下，能夠較好的滿足掩模板高質量開口的要求。

發明內容

有鑒于此，為解決現有技術存在的問題，本發明提供了一種掩模組件的制備方法。