[發(fā)明專利]包括換能器管芯的換能器布置和覆蓋換能器管芯的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410500848.0
• 申請(qǐng)日: 2014-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN104515636A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H.托伊斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01L7/00
• 分類號(hào): G01L7/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;徐紅燕

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及包括換能器管芯的換能器布置。而且，本發(fā)明涉及覆蓋換能器管芯的方法。

背景技術(shù)

在本領(lǐng)域中，包括提供某種電子功能的電子或半導(dǎo)體芯片的多個(gè)電子模塊是已知的。電子芯片可被布置或放置在襯底上并可被封裝，以便為電子芯片提供某種保護(hù)功能。

特別是，電子芯片可形成傳感器像壓力傳感器、麥克風(fēng)或氣體傳感器或可以是其部分。雖然這樣的傳感器優(yōu)選地被保護(hù)免受環(huán)境（例如顆粒和或化學(xué)影響（例如腐蝕）），但這些種類的傳感器需要與環(huán)境直接接觸，例如壓力改變必須由傳感器的活性部件檢測(cè)，或待檢測(cè)的特定氣體必須能夠到達(dá)活性部件。因此，封裝不應(yīng)密封地封閉活性部件，而允許與環(huán)境的至少部分交互作用。

在圖5中示意性示出在本領(lǐng)域（例如US2006053895A1）中已知的保護(hù)壓力傳感器的一個(gè)可能性。

特別是，圖5示出具有腔501的傳感器布置500，所述腔501包括腔殼體502并且還包括引線框503，所述腔殼體502例如由模制塑料材料、PCB多層或陶瓷的層壓結(jié)構(gòu)形成或由任何其它合適的材料或方法形成，所述引線框503例如是無引線或彎曲引線框。

在腔501中，傳感器管芯504（例如壓力傳感器）通過例如粘合材料505附接到腔的底部。傳感器管芯504此外經(jīng)由接合線506電連接到傳感器布置的外部，例如經(jīng)由引線框通過將接合或接觸焊盤507連接到引線框503來電連接到傳感器布置的外部。傳感器管芯或芯片504包括活性區(qū)508，其在壓力傳感器的情況下可由膜形成。為了保護(hù)傳感器管芯504，凝膠材料509用于通過填充腔501來覆蓋活性傳感器管芯504。可替換地，腔501可由包括孔的蓋或蓋子覆蓋，以便一方面提供用于傳感器管芯的覆蓋或保護(hù)，而另一方面使傳感器管芯能夠不完全避開環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容

一般地，可能需要提供換能器布置和制造其的方法，其中換能器布置提供對(duì)換能器布置的換能器管芯的良好顆粒保護(hù)。

根據(jù)示例性方面，提供換能器布置，其包括：支持結(jié)構(gòu)；布置在支持結(jié)構(gòu)上的換能器管芯以及包括連接到支持結(jié)構(gòu)并布置成至少部分地覆蓋換能器管芯的多孔材料的蓋。

根據(jù)示例性方面，提供覆蓋換能器布置的換能器管芯的方法，其中該方法包括：提供支持結(jié)構(gòu)；將換能器管芯布置在支持結(jié)構(gòu)上；以及通過將包括多孔材料的蓋放置在支持結(jié)構(gòu)上來至少部分地覆蓋所布置的換能器管芯。

根據(jù)示例性方面，提供換能器布置，其包括：支持結(jié)構(gòu)；布置在支持結(jié)構(gòu)上的換能器管芯；包括包含多個(gè)通孔的材料的蓋，其中蓋連接到支持結(jié)構(gòu)并被布置成至少部分地覆蓋換能器管芯。

包括多孔材料或具有多個(gè)通孔的材料的蓋的供應(yīng)可允許對(duì)換能器管芯的良好顆粒保護(hù)。同時(shí)，蓋可允許在換能器布置的制造期間在換能器布置或支持結(jié)構(gòu)上的蓋的簡(jiǎn)單處理和布置。此外，多孔材料可被選擇成具有高耐化學(xué)性并提供高耐腐蝕性。因此，當(dāng)與單個(gè)凝膠化合物的使用比較時(shí)，多孔材料的供應(yīng)可能是有益的，因?yàn)榭稍黾踊瘜W(xué)和/或機(jī)械耐久性。此外，多孔蓋可使得能夠進(jìn)行寬范圍的應(yīng)用。

附圖說明

附圖被包括來提供對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的進(jìn)一步理解并構(gòu)成說明書的一部分，所述附圖圖示本發(fā)明的示例性實(shí)施例。

在附圖中：

圖1示出根據(jù)示例性實(shí)施例的換能器布置的示意性橫截面視圖；

圖2示出根據(jù)另一示例性實(shí)施例的換能器布置的示意性橫截面視圖；

圖3A示出根據(jù)另一示例性實(shí)施例的換能器布置的示意性橫截面視圖；

圖3B示出具有布置在換能器布置上的蓋的圖3A的換能器布置；

圖4示意性示出根據(jù)示例性實(shí)施例的覆蓋換能器布置的換能器管芯的過程的步驟；

圖5示出傳感器布置的示意性橫截面視圖。

具體實(shí)施方式

在下文中，將解釋換能器布置和制造其的方法的另外的示例性實(shí)施例。應(yīng)注意，在換能器布置的上下文中描述的實(shí)施例也可與制造換能器布置的方法的實(shí)施例相組合，反之亦然。