[發明專利]一種聲表面波氣體傳感器在審
| 申請號： | 201410496871.7 | 申請日： | 2014-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN105510434A | 公開（公告）日： | 2016-04-20 |
| 發明（設計）人： | 何志杰 | 申請（專利權）人： | 何志杰 |
| 主分類號： | G01N29/036 | 分類號： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110179 遼寧省沈陽*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面波 氣體 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種聲表面波氣體傳感器，其中采用了雙聲路差動結構；其特征在于：一聲路包括匹配網絡模塊連接放大器模塊、所述放大器模塊連接相移網絡模塊、所述相移網絡模塊連接功分器模塊、所述功分器模塊連接匹配網絡模塊，功分器模塊輸出連接混頻器；另一生路包括匹配網絡模塊連接放大器模塊、所述放大器模塊連接相移網絡模塊、所述相移網絡模塊連接功分器模塊、所述功分器模塊連接匹配網絡模塊，功分器模塊輸出連接混頻器；傳感器內部包括敏感膜、SAW雙延遲模塊。
2.根據權利要求1所述的一種聲表面波氣體傳感器，其特征在于：所述聲表面波氣體傳感器SAW采用延遲線結構的SAW振蕩器，叉指換能器(IDT)電極一般采用Au。
3.根據權利要求1所述的一種聲表面波氣體傳感器，其特征在于：所述SAW延遲線的單膜選擇性，通過長輸入IDT和短輸出IDT的頻響組合來實現。
4.根據權利要求1所述的一種聲表面波氣體傳感器，其特征在于：所述低IL可通過電極寬度控制單向單相換能器(EWC/SPUDT)實現，采用抽指加權的形式。
5.根據權利要求4所述的一種聲表面波氣體傳感器，其特征在于：所述SAW表面聲波氣體傳感器靈敏度的提高是采用分辨率更高的電子束光刻(EBL)技術，采用EBL和剝離工藝相結合完成IDT的制作。
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