[發明專利]分選裝置及測試裝置在審
| 申請號: | 201410495944.0 | 申請日: | 2014-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN104950242A | 公開(公告)日: | 2015-09-30 |
| 發明(設計)人: | 山下毅;相澤光范;堀野浩光;山田祐也;小野澤正貴 | 申請(專利權)人: | 愛德萬測試株式會社 |
| 主分類號: | G01R31/28 | 分類號: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀純 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 分選 裝置 測試 | ||
1.一種分選裝置,是將被測器件運送到測試用插座分選裝置,其中包括:
插座嵌合單元,在將保持所述被測器件的器件保持器嵌合到所述測試用插座之前,與所述測試用插座相嵌合;
測試用插座位置檢測部,檢測在所述測試用插座與所述插座嵌合單元相嵌合的狀態下所述插座嵌合單元相對于所述測試用插座的相對位置;
執行器,基于檢測到的所述插座嵌合單元的相對位置,調整所述器件保持器上的所述被測器件的位置;
運送部,運送所述被測器件的位置被調整后的所述器件保持器并使其與所述測試用插座相嵌合。
2.根據權利要求1所述的分選裝置,其中進一步包括:插座攝像部,在所述測試用插座上嵌合有所述插座嵌合單元的狀態下拍攝所述測試用插座及所述插座嵌合單元;
所述測試用插座位置檢測部基于所述插座攝像部的拍攝結果檢測所述插座嵌合單元相對于所述測試用插座的相對位置。
3.根據權利要求2所述的分選裝置,其中,所述插座嵌合單元具有能夠從與所述測試用插座相嵌合的面的相對側而觀察的基準標記;
所述插座攝像部從所述插座嵌合單元的所述相對側對所述插座嵌合單元的包含所述基準標記及所述測試用插座的至少一部分的區域進行拍攝。
4.根據權利要求3所述的分選裝置,其中:
所述插座嵌合單元具有在與所述測試用插座相嵌合的狀態下能夠從所述相對側對所述測試用插座的至少一部分的電極進行觀察的開口部;
所述插座攝像部對包含所述插座嵌合單元的所述基準標記及所述測試用插座的至少一部分的電極的區域進行拍攝;
所述測試用插座位置檢測部檢測所述測試用插座的電極相對于所述插座嵌合單元的所述基準標記的相對位置。
5.根據權利要求4所述的分選裝置,其中,進一步包括與所述器件保持器及所述插座嵌合單元依次嵌合的調整用插座;
所述執行器進一步基于當所述調整用插座嵌合于所述器件保持器的狀態下所述器件保持器相對于所述調整用插座的相對位置以及當所述調整用插座嵌合于所述插座嵌合單元的狀態下所述插座嵌合單元相對于所述調整用插座的相對位置對所述器件保持器上的所述被測試器件的位置進行調整。
6.根據權利要求5所述的分選裝置,其中,所述插座嵌合單元的所述基準標記設置于能夠從與所述調整用插座相嵌合的面進行觀察且當所述插座嵌合單元與所述調整用插座相嵌合的狀態下不被所述調整用插座覆蓋的位置。
7.根據權利要求5所述的分選裝置,其中進一步包括:
調整用托盤,搭載所述插座嵌合單元;以及
運送部,為了將所述插座嵌合單元依次嵌合于兩個以上的所述測試用插座而運送所述調整用托盤。
8.根據權利要求7所述的分選裝置,其中,所述調整用托盤搭載多個所述插座嵌合單元;
還包括控制部,為將所述調整用插座依次嵌合于兩個以上的所述插座嵌合單元而移動所述調整用插座。
9.根據權利要求7所述的分選裝置,其中,所述調整用托盤搭載多個所述插座嵌合單元;
所述運送部為使所述調整用插座依次嵌合于兩個以上的所述插座嵌合單元上而運送所述調整用托盤。
10.一種測試裝置,是測試所述被測器件的測試裝置,包含將所述被測器件運送到所述測試用插座的權利要求1~9中任一項所述的分選裝置,其中進一步包括:
測試頭,通過所述測試用插座與所述被測器件電連接;以及
測試模塊,通過所述測試頭測試所述被測器件。
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