[發明專利]壓電元件、液體噴射頭以及液體噴射裝置有效
| 申請號: | 201410493624.1 | 申請日: | 2014-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN104512115A | 公開(公告)日: | 2015-04-15 |
| 發明(設計)人: | 酒井朋裕 | 申請(專利權)人: | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號: | B41J2/045 | 分類號: | B41J2/045 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 金世煜;苗堃 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 元件 液體 噴射 以及 裝置 | ||
1.一種壓電元件,其特征在于,具備作為第1電極的襯底層而設置的密合層、設置于所述密合層上的所述第1電極、設置于所述第1電極上的壓電體層和設置于所述壓電體層上的第2電極,
其中,所述密合層由含鉍、錳、鐵和鈦中的至少一個的具有鈣鈦礦結構的復合氧化物構成,
所述第1電極由在(100)面優先取向的金屬構成,
所述壓電體層由在(100)面優先取向的鈣鈦礦結構的復合氧化物構成。
2.根據權利要求1所述的壓電元件,其特征在于,所述密合層至少含有鉍、鈦和鐵,且鉍:鐵:鈦的摩爾比為x:65:35、100≤x≤120。
3.根據權利要求1或2所述的壓電元件,其特征在于,所述密合層設置于含有鉍和錳,或鉍、錳和鐵,或鉍、鐵和鈦的取向控制層上。
4.根據權利要求1~3中任一項所述的壓電元件,其特征在于,所述壓電體層含有鉍、鐵、鋇和鈦。
5.根據權利要求1~4中任一項所述的壓電元件,其特征在于,所述壓電體層進一步含有錳。
6.根據權利要求1~5中任一項所述的壓電元件,其特征在于,所述壓電體層含有與所述密合層相同的構成元素。
7.根據權利要求1~6中任一項所述的壓電元件,其特征在于,所述第1電極由鉑構成。
8.一種液體噴射頭,其特征在于,具備:
流路形成基板,其具有連通于進行液體噴射的噴嘴開口的壓力產生室;
振動板,其設置在所述流路形成基板的一面側;以及
設置于所述振動板上的權利要求1~7中的任一項所述的壓電元件。
9.一種液體噴射裝置,其特征在于,具備權利要求8所述的液體噴射頭。
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