[發明專利]一種相變光刻膠及其制備方法

有效

• 申請號: 201410493318.8
• 申請日: 2014-09-24
• 公開（公告）號: CN104199254B
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 馮淼;田敬東;王璐;王麗娜
• 申請（專利權）人: 中國科學院天津工業生物技術研究所
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;C08F120/06;C08F220/06;C08F220/18;C08F220/34;C08F8/36
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種相變光刻膠的制備方法，包括：

將端馬來酰亞胺基pH響應聚合物與巰基化光驅動質子泵進行交聯反應，得到相變光刻膠；

所述端馬來酰亞胺基pH響應聚合物為端馬來酰亞胺基丙烯酸均聚物、端馬來酰亞胺基丙烯酸同系物均聚物、端馬來酰亞胺基丙烯酸-co-水溶性單體聚合物、端馬來酰亞胺基丙烯酸-b-水溶性單體聚合物、端馬來酰亞胺基丙烯酸同系物-co-水溶性單體聚合物和端馬來酰亞胺基丙烯酸同系物-b-水溶性單體聚合物中的一種或幾種；

所述端馬來酰亞胺基pH響應聚合物按照以下步驟制備：

A)將pH響應單體、引發劑和鏈轉移劑在有機溶劑中進行聚合反應，得到端氨基pH響應聚合物，所述引發劑和/或鏈轉移劑的端基為氨基；

B)將所述步驟A)得到的端氨基pH響應聚合物與4-(N-馬來酰亞胺甲基)環己烷-1-羧酸磺酸基琥珀酰亞胺鹽反應，得到端馬來酰亞胺基pH響應聚合物；

所述pH響應單體包括丙烯酸和丙烯酸同系物中的一種或幾種；

所述引發劑為偶氮類引發劑；

所述鏈轉移劑為2-氨基乙硫醇鹽酸鹽；

所述巰基化光驅動質子泵的制備方法包括：

將光驅動質子泵與2-亞氨基硫烷鹽酸鹽在緩沖溶液中進行反應，得到巰基化光驅動質子泵；

所述光驅動質子泵包括菌視紫紅質、菌視紫紅質的氨基酸突變體、變形菌視紫紅質和變形菌視紫紅質的氨基酸突變體中的一種或幾種。

2.權利要求1所述的制備方法中，步驟B)中4-(N-馬來酰亞胺甲基)環己烷-1-羧酸磺酸基琥珀酰亞胺鹽與端氨基pH響應聚合物的摩爾比為(1～10):1。

3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述步驟B)中的反應溫度為10℃～45℃；

所述步驟B)中的反應時間為10min～2.5h。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述2-亞氨基硫烷鹽酸鹽與光驅動質子泵的摩爾比為(10～15):1。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述光驅動質子泵與2-亞氨基硫烷鹽酸鹽反應的溫度為10℃～45℃；

所述光驅動質子泵與2-亞氨基硫烷鹽酸鹽反應的時間為30min～60min。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述巰基化光驅動質子泵與端馬來酰亞胺基pH響應聚合物的摩爾比為(1～8):1。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述巰基化光驅動質子泵與端馬來酰亞胺基pH響應聚合物反應的溫度為10℃～45℃；

所述巰基化光驅動質子泵與端馬來酰亞胺基pH響應聚合物反應的時間為10min～2h。

8.一種相變光刻膠，由權利要求1所述的方法制備得到。