[發明專利]擴散頭裝置和氣體分布方法

有效

• 申請號: 201410492362.7
• 申請日: 2014-09-24
• 公開（公告）號: CN104975272A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發明（設計）人: 許麗
• 申請（專利權）人: 臺積太陽能股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;H01L31/18
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;李偉

1.一種形成薄膜太陽能電池的方法，包括：

在室中提供包括襯底、背面接觸層、吸收層和緩沖層的部分制造的薄膜太陽能電池；以及

通過具有配置成蜂巢狀圖案的多個開口的擴散板將工藝氣體引入至所述室內，以在所述緩沖層上方形成頂部接觸層，其中，所述多個開口中的每個均包括圓錐臺部分。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述蜂巢狀圖案包括設置成行的所述多個開口，所述行以第一方向定向，其中，鄰近的行在所述第一方向上彼此偏移。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，所述頂部接觸層是透明導電氧化物。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，所述吸收層是CIGS吸收件。

5.根據權利要求2所述的方法，其中，所述多個開口中的每個還包括圓柱形部分。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述多個開口中的每個的所述圓錐臺部分的底部的寬度是圓柱形部分的頂部的寬度的至少兩倍。

7.根據權利要求2所述的方法，其中，第一軸垂直于所述擴散板的表面，并且其中，所述圓錐臺部分的外表面相對于所述第一軸設置成介于0度和60度之間的角度。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，通過MOCVD形成所述頂部接觸層。

9.一種在薄膜太陽能電池制造期間用于化學汽相沉積的裝置，包括：

擴散頭，包括：

第一板；

第二板，連接至所述第一板，所述第二板具有配置成蜂巢狀圖案的多個開口，其中，所述多個開口中的每個均包括圓錐臺部分；以及

供應腔，限定在所述第一板和所述第二板之間，所述供應腔流體連接至第一工藝氣體入口。

10.一種在薄膜太陽能電池制造期間用于化學汽相沉積的裝置，包括：擴散頭，包括：

第一板；

第二板，連接至所述第一板，所述第二板具有配置成蜂巢狀圖案的多個開口，其中，所述多個開口中的每個都包括圓柱形部分和圓錐臺部分；及

供應腔，限定在所述第一板和所述第二板之間，所述供應腔流體連接至第一工藝氣體入口；以及

室，其中，所述擴散頭安裝在所述室中。