[發明專利]一種多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法和裝置有效
| 申請號： | 201410484800.5 | 申請日： | 2014-09-19 |
| 公開（公告）號： | CN105480981B | 公開（公告）日： | 2017-09-26 |
| 發明（設計）人： | 張吉武;張偉;陳朝霞;王惠 | 申請（專利權）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112 | 代理人： | 羅建民,鄧伯英 |
| 地址： | 830011 新疆維吾爾自治區烏魯木齊市烏魯*** | 國省代碼： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 還原 生產 中的 尾氣 二氯二氫硅 回收 方法 裝置 | ||
1.一種多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)將多晶硅還原生產中的尾氣通過解析塔進行解析分離，得到分離開的氯化氫和氯硅烷，解析塔的塔頂的輕組分氯硅烷被冷凝為液相狀態；
(2)對液相狀態的輕組分氯硅烷進行吸附除掉含有硼磷的雜質；
(3)進行一級精餾脫除輕組分；
(4)進行二級精餾脫除重組分，得到二氯二氫硅。
2.根據權利要求1所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法，其特征在于，所述步驟(1)中，所述解析的溫度為-50～160℃，所述解析的壓力為0.5～1.2MPa。
3.根據權利要求1所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法，其特征在于，所述步驟(1)中，所述解析分離出來的氯硅烷的溫度為-30～-10℃。
4.根據權利要求1所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法，其特征在于，所述步驟(2)中，所述進行吸附時所用的吸附劑的組成包括：20％～60％的質量百分比的硅膠、10％～30％的質量百分比的氧化鋁及10％～70％的質量百分比的活性炭。
5.根據權利要求1所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法，其特征在于，所述步驟(3)中，所述進行一級精餾的壓力為0.4～0.5MPa。
6.根據權利要求1所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收方法，其特征在于，所述步驟(4)中，所述進行二級精餾的壓力為0.4～0.5MPa。
7.一種多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收裝置，其特征在于，包括：
解析塔，用于將多晶硅還原生產中的尾氣進行解析分離，得到分離開的氯化氫和氯硅烷，解析塔的塔頂的輕組分氯硅烷被冷凝為液相狀態；
吸附柱，與所述解析塔連接，所述吸附柱用于對液相狀態的輕組分氯硅烷進行吸附除掉含有硼磷的雜質；
一級精餾塔，與所述吸附柱連接，所述一級精餾塔用于進行一級精餾脫除輕組分；
二級精餾塔，與所述一級精餾塔連接，所述二級精餾塔用于進行二級精餾脫除重組分，得到二氯二氫硅。
8.根據權利要求7所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收裝置，其特征在于，所述解析塔內進行解析時的溫度為-50～160℃，壓力為0.5～1.2MPa
9.根據權利要求7所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收裝置，其特征在于，所述解析塔的塔頂的溫度為-30～-10℃。
10.根據權利要求7所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收裝置，其特征在于，所述吸附柱內的吸附劑的組成包括：20％～60％的質量百分比的硅膠、10％～30％的質量百分比的氧化鋁及10％～70％的質量百分比的活性炭。
11.根據權利要求7所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收裝置，其特征在于，所述一級精餾塔進行精餾時的壓力為0.4～0.5MPa。
12.根據權利要求7所述的多晶硅還原生產中的尾氣中的二氯二氫硅的回收裝置，其特征在于，所述二級精餾塔進行精餾時的壓力為0.4～0.5MPa。
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