[發明專利]一種IGZO靶材專用氧化鎵粉末的制備方法

有效

• 申請號: 201410480312.7
• 申請日: 2014-09-18
• 公開（公告）號: CN104276597A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 趙科湘
• 申請（專利權）人: 株洲科能新材料有限責任公司
• 主分類號: C01G15/00
• 分類號: C01G15/00
• 代理公司: 長沙市融智專利事務所 43114
• 代理人: 魏娟

1.一種IGZO靶材專用氧化鎵粉末的制備方法，其特征在于，通過氧化噴嘴實現金屬鎵的氧化和粉碎，所述的氧化噴嘴中央設有圓形金屬液孔，圓形金屬液孔四周均勻分布有4個氣流孔，所述氣流孔沿圓形金屬液孔軸心20～40°夾角方向設置；進行金屬鎵的氧化和粉碎時，將金屬鎵加熱到250～350℃后，從圓形金屬液孔流出，同時，從所述的4個氣流孔中同時以5～10MPa的壓力噴出250～350℃熱空氣，液態金屬鎵在氣流交匯處被氣流沖擊、剪切，同時進行氧化反應，形成平均粒徑為2.5～3μm的氧化鎵粉末。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述的金屬鎵加熱到280～320℃。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述的熱空氣的溫度為280～320℃。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述的氣流孔沿圓形金屬液孔軸心25～35°夾角方向設置。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，熱空氣的噴出壓力為6～8MPa。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所得的氧化鎵粉末粒徑≤10μm的顆粒含量在99％以上，且粒徑≤5μm的顆粒含量在85％以上。

7.根據權利要求1～6任一項所述的制備方法，其特征在于，先將金屬鎵加熱到280～320℃，從圓形金屬液孔流出，同時，從所述的4個氣流孔中同時以6～8MPa的壓力沿圓形金屬液孔軸心25～35°夾角方向噴出280～320℃熱空氣，液態金屬鎵在氣流交匯處被氣流沖擊、剪切，同時進行氧化反應，形成平均粒徑為2.5～3μm，且粒徑≤10μm的顆粒含量在99％以上，且粒徑≤5μm的顆粒含量在85％以上氧化鎵粉末。