[發(fā)明專利]一種基板的檢測(cè)方法及裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410480018.6 | 申請(qǐng)日: | 2014-09-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN104252056B | 公開(公告)日: | 2017-07-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 趙可寧;劉宏宇;馬超;鄭康 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02F1/13 | 分類號(hào): | G02F1/13;G06N3/02 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11243 | 代理人: | 黃燦,安利霞 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 檢測(cè) 方法 裝置 | ||
1.一種基板的檢測(cè)方法,其特征在于,包括:
采集待檢測(cè)基板的用于檢測(cè)的待測(cè)圖像;
根據(jù)所述待測(cè)圖像獲取待檢測(cè)基板的與光學(xué)特性相關(guān)的至少一個(gè)識(shí)別參數(shù)的檢測(cè)值;
將所述至少一個(gè)識(shí)別參數(shù)的檢測(cè)值對(duì)應(yīng)輸入到預(yù)先訓(xùn)練好的基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的識(shí)別模塊的輸入節(jié)點(diǎn);
獲取所述識(shí)別模塊根據(jù)所述輸入節(jié)點(diǎn)的輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行識(shí)別得到的待檢測(cè)基板的第一識(shí)別結(jié)果后輸出;
所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)利用從識(shí)別結(jié)果已知的基板采集的訓(xùn)練圖像進(jìn)行訓(xùn)練得到。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法,其特征在于,所述至少一個(gè)識(shí)別參數(shù)為如下參數(shù)的任意組合:亮度參數(shù)、灰度參數(shù)和色度參數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法,其特征在于,所述采集待檢測(cè)基板的用于檢測(cè)的待測(cè)圖像包括:
獲取包括整個(gè)所述待檢測(cè)基板的原始圖像;
根據(jù)所述原始圖像的灰度分布確定所述原始圖像中的問題區(qū)域;
從所述原始圖像中截取出所述待測(cè)圖像;
所述待測(cè)圖像的圖像尺寸和所述訓(xùn)練圖像的圖像尺寸相同,且所述待測(cè)圖像的部分或全部對(duì)應(yīng)于所述問題區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)方法,其特征在于,根據(jù)所述原始圖像的灰度分布確定所述原始圖像中的問題區(qū)域包括:
計(jì)算所述原始圖像的平均灰度值;
確定所述原始圖像中灰度值與所述平均灰度值的差值的絕對(duì)值超過預(yù)定數(shù)值的問題像素;
利用所有的問題像素定位所述問題區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法,其特征在于,還包括:
獲取真實(shí)識(shí)別結(jié)果已知的基板的評(píng)估圖像;
獲取所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)依據(jù)所述評(píng)估圖像得到的第二識(shí)別結(jié)果;
當(dāng)所述第二識(shí)別結(jié)果與所述真實(shí)識(shí)別結(jié)果不同時(shí),輸出一提示進(jìn)行神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)修正的提示消息。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)方法,其特征在于,采集待檢測(cè)基板的用于檢測(cè)的待測(cè)圖像的過程中,所述待檢測(cè)基板顯示純色畫面或黑白相間畫面。
7.一種基板的檢測(cè)裝置,其特征在于,包括:
采集模塊,用于采集待檢測(cè)基板的用于檢測(cè)的待測(cè)圖像;
參數(shù)獲取模塊,用于根據(jù)所述待測(cè)圖像獲取待檢測(cè)基板的與光學(xué)特性相關(guān)的至少一個(gè)識(shí)別參數(shù)的檢測(cè)值;
輸入模塊,用于將所述至少一個(gè)識(shí)別參數(shù)的檢測(cè)值對(duì)應(yīng)輸入到識(shí)別模塊的輸入節(jié)點(diǎn);
識(shí)別模塊,用于利用預(yù)先訓(xùn)練好的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)所述輸入節(jié)點(diǎn)輸入的檢測(cè)值進(jìn)行識(shí)別,得到待檢測(cè)基板的第一識(shí)別結(jié)果;所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)基于預(yù)訂數(shù)量的,識(shí)別結(jié)果已知的基板的訓(xùn)練圖像訓(xùn)練得到;
輸出模塊,用于獲取所述第一識(shí)別結(jié)果后輸出。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)裝置,其特征在于,所述至少一個(gè)識(shí)別參數(shù)為如下參數(shù)的任意組合:亮度參數(shù)、灰度參數(shù)和色度參數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)裝置,其特征在于,所述采集模塊包括:
原始圖像采集單元,用于獲取包括整個(gè)所述待檢測(cè)基板的原始圖像;
問題區(qū)域確定單元,用于根據(jù)所述原始圖像的灰度分布確定所述原始圖像中的問題區(qū)域;
圖像截取單元,用于從所述原始圖像中截取出所述待測(cè)圖像;
所述待測(cè)圖像的圖像尺寸和所述訓(xùn)練圖像的圖像尺寸相同,且所述待測(cè)圖像的部分或全部對(duì)應(yīng)于所述問題區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板檢測(cè)裝置,其特征在于,問題區(qū)域確定單元包括:
平均灰度計(jì)算子單元,用于計(jì)算所述原始圖像的平均灰度值;
問題像素確定子單元,用于確定所述原始圖像中灰度值與所述平均灰度值的差值的絕對(duì)值超過預(yù)定數(shù)值的問題像素;
問題區(qū)域定位子單元,用于利用所有的問題像素定位所述問題區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)裝置,其特征在于,還包括:
評(píng)估圖像獲取模塊,用于獲取真實(shí)識(shí)別結(jié)果已知的基板的評(píng)估圖像;
識(shí)別模塊,用于獲取所述神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)依據(jù)所述評(píng)估圖像得到的第二識(shí)別結(jié)果;
提示模塊,用于當(dāng)所述第二識(shí)別結(jié)果與所述真實(shí)識(shí)別結(jié)果不同時(shí),輸出一提示進(jìn)行神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)修正的提示消息。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)裝置,其特征在于,采集待檢測(cè)基板的用于檢測(cè)的待測(cè)圖像的過程中,所述待檢測(cè)基板顯示純色畫面或黑白相間畫面。
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G02F 用于控制光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如轉(zhuǎn)換、選通、調(diào)制或解調(diào),上述器件或裝置的光學(xué)操作是通過改變器件或裝置的介質(zhì)的光學(xué)性質(zhì)來修改的;用于上述操作的技術(shù)或工藝;變頻;非線性光學(xué);光學(xué)
G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
G02F1-01 .對(duì)強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
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