[發(fā)明專利]一種二硝基二苯胺重氮樹脂、含有該樹脂的光刻膠組合物及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410476040.3
• 申請日: 2014-09-17
• 公開（公告）號: CN104262193A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設計）人: 汪建國
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C07C245/20
• 分類號: C07C245/20;G03F7/021;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種重氮樹脂，其特征在于，其結構式如下式所示：

其中，n為2以上的整數(shù)；

R^-為六氟磷酸根、十二烷基苯磺酸根、十二烷基磺酸根、對甲苯磺酸根、均三甲苯磺酸根或萘磺酸根陰離子；

W為CH₂或

X為氫、甲氧基或甲基；

Y為硝基；

Z為甲基或乙基。

2.根據(jù)權利要求1所述的重氮樹脂，其特征在于，n為2-10的整數(shù)。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，R^-為均三甲苯磺酸根陰離子。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，W為CH₂或

5.根據(jù)權利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，X為氫。

6.根據(jù)權利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，Z為甲基。

7.根據(jù)權利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，R^-為均三甲苯磺酸根陰離子，W為CH₂或X為氫，Z為甲基。

8.一種光刻膠組合物，其特征在于，所述組合物由包括4-6重量份的成膜樹脂、10-15重量份的權利要求1-7任一項所述的重氮樹脂、0.1-1重量份的背景染料的原料在200-300重量份的有機溶劑中溶解形成。

9.根據(jù)權利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的成膜樹脂包括環(huán)氧樹脂、聚乙烯醇縮醛樹脂和聚氨酯樹脂中的一種或幾種。

10.根據(jù)權利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的背景染料為堿性艷藍、結晶紫、維多利亞純藍、靛藍、甲基紫、孔雀石綠或油溶藍中的一種或幾種。

11.根據(jù)權利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的有機溶劑為乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六環(huán)、N-甲基吡咯烷酮、甲醇或四氫呋喃中的一種或幾種。

12.一種權利要求8-11所述的光刻膠組合物的制備方法，其特征在于：

將背景染料溶于有機溶劑中，待徹底溶解后，再加入成膜樹脂、重氮樹脂，然后過濾。

13.根據(jù)權利要求12所述的制備方法，其特征在于：

采用濾紙進行所述過濾。

14.一種權利要求8-11所述的光刻膠組合物的使用方法，其特征在于：

在曝光時，曝光區(qū)域的無水膠印版受到紫外光照射，感光層中的重氮樹脂發(fā)生感光反應，生成陽離子自由基，并與成膜樹脂交聯(lián)結合；

顯影時，曝光部分因交聯(lián)而保留，而未曝光部分因未發(fā)生反應而被顯影液除去，得到陰圖圖像。

15.根據(jù)權利要求14所述的使用方法，其中：

曝光部分的光刻膠與SiO₂表面通過氫鍵粘合在一起，未曝光部分的光刻膠在顯影后去除。

16.根據(jù)權利要求14或15所述的使用方法，其中：

所述顯影液以1-5質(zhì)量份的Na₂SiO₃，8-10質(zhì)量份的苯甲醇，4-8質(zhì)量份的十二烷基硫酸鈉溶解在80-120質(zhì)量份的水中形成。