[發(fā)明專(zhuān)利]一種氣浮軸承零件配合檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410475583.3
• 申請(qǐng)日: 2014-09-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104251776B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉必卿;勵(lì)紅峰;阮姣姣;金旭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01M13/04
• 分類(lèi)號(hào): G01M13/04
• 代理公司: 杭州浙科專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙)33213
• 代理人: 吳秉中

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種檢測(cè)裝置，特別是一種氣浮軸承性能檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

近年來(lái)氣浮軸承因其無(wú)摩擦、精度高、承載能力強(qiáng)、低功耗等特點(diǎn)在高精密制造業(yè)中得到廣泛利用，現(xiàn)有的氣浮軸承氣模間隙可達(dá)到納米級(jí)，因此氣浮軸承的部件有著很高的加工要求。

加工完成的氣浮軸承要進(jìn)行一系列的性能檢測(cè)，確保氣浮間隙達(dá)到精度要求。目前已有一些靜壓氣浮軸承的檢測(cè)方法和裝置，但工作過(guò)程中氣浮軸承一般處于動(dòng)態(tài)狀態(tài)，測(cè)試時(shí)又不能引入傳感器等外部干擾條件，因此氣浮軸承的檢測(cè)也是目前存在的難題，特別是氣浮軸承的氣浮間隙均勻度檢測(cè)、氣浮軸承的配合度檢測(cè)，還沒(méi)有一種完善的、精度高的檢測(cè)方法和裝置，能夠很好的獲得氣浮軸承內(nèi)部的氣浮間隙以及工作時(shí)配合情況。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)氣浮軸承間隙均勻度、配合度檢測(cè)的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種通過(guò)音頻檢測(cè)獲取氣浮軸承內(nèi)部情況的、精度高的、測(cè)試效果好的氣浮軸承零件配合檢測(cè)設(shè)備。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種氣浮軸承零件配合檢測(cè)設(shè)備，其特征在于：包括罐體、麥克風(fēng)、隔音管道、安裝平臺(tái)、隔震基座、驅(qū)動(dòng)裝置。

所述安裝平臺(tái)位于罐體內(nèi)，所述安裝平臺(tái)穿過(guò)罐體固定安裝在罐體外的隔震基座上，所述安裝平臺(tái)上安裝氣浮軸承。

所述氣浮軸承兩側(cè)套裝隔音管道，所述隔音管道與罐體外大氣相通，所述隔音管道安裝在安裝平臺(tái)上。

所述驅(qū)動(dòng)裝置安裝在罐體外，所述驅(qū)動(dòng)裝置連接驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸穿過(guò)罐體和隔音管道連接罐體內(nèi)氣浮軸承，所述驅(qū)動(dòng)軸位于隔音管道內(nèi)。

所述麥克風(fēng)通過(guò)金屬軟管安裝在罐體內(nèi)，所述麥克風(fēng)有多組且可調(diào)位置和方向。

所述罐體的內(nèi)壁涂覆吸音材料。

進(jìn)一步，所述驅(qū)動(dòng)裝置包含驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)軸、支架，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在支架上，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸穿過(guò)罐體連接氣浮軸承。

進(jìn)一步，所述罐體上設(shè)有觀察窗。

進(jìn)一步，所述罐體由罐身和罐蓋組成，所述罐身為圓柱狀，所述罐蓋有兩個(gè)且安裝在罐身的兩端。

進(jìn)一步，還包括供氣管道，所述供氣管道穿過(guò)罐體固定在安裝平臺(tái)上，所述供氣管道為氣浮軸承供氣。

本發(fā)明中，調(diào)整所述麥克風(fēng)盡可能貼近氣浮軸承的周邊，通過(guò)罐體外的驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)氣浮軸承運(yùn)動(dòng)，模擬氣浮軸承的工作情況，通過(guò)麥克風(fēng)測(cè)量出氣浮軸承工作過(guò)程中各個(gè)位置的的音頻情況，通過(guò)音頻分析獲取氣浮軸承內(nèi)部間隙均勻度、配合度等情況。

本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)及效果：1、罐體內(nèi)安裝多組麥克風(fēng)，能有效地獲取氣浮軸承的音頻信息，通過(guò)音頻變化，可以快速分析出各個(gè)特征頻率下、各個(gè)位置下氣浮軸承的配合度、間隙均勻度等情況，且通過(guò)間接測(cè)量，不引入其他干擾因素，測(cè)試精度更高。2、將驅(qū)動(dòng)裝置放置在罐外，氣浮軸承安裝在罐內(nèi)，利用罐體的密封性將不屬于氣浮軸承產(chǎn)生的噪音隔絕，同時(shí)降低環(huán)境噪音的影響，提高了測(cè)量精度。3、氣浮軸承兩側(cè)均設(shè)置有隔音管道，將氣浮軸承兩側(cè)排出的氣流導(dǎo)出到罐體外，避免了氣流對(duì)麥克風(fēng)的音頻測(cè)試產(chǎn)生影響。4、罐體內(nèi)部涂覆有吸音材料，可防止混響。5、將放置氣浮軸承的安裝平臺(tái)穿過(guò)罐體固定在隔震地基上，可防止待測(cè)件與平臺(tái)間的碰撞以及平臺(tái)與罐體的碰撞導(dǎo)致新的噪音。6、麥克風(fēng)通過(guò)金屬軟管安裝在罐體上，可隨意調(diào)整麥克風(fēng)的位置和方向，靈活度好。7、罐體包含罐身和罐蓋，使得氣浮軸承以及隔音管道的安裝更方便。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的立體示意圖。

圖2為本發(fā)明的正向截面示意圖。

圖3為本發(fā)明的側(cè)向截面示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，以下實(shí)施例是對(duì)本發(fā)明的解釋而本發(fā)明并不局限于以下實(shí)施例。

如圖1~3所示，一種氣浮軸承零件配合檢測(cè)設(shè)備，包括罐體、觀察窗3、隔震基座4、驅(qū)動(dòng)電機(jī)5、減速器6、驅(qū)動(dòng)軸7、支架8、麥克風(fēng)10、金屬軟管9、支座13、安裝平臺(tái)14、隔音管道、供氣管道，其中隔音管道包含第一隔音管道15和第二隔音管道16，罐體包括罐身1和罐蓋2，罐體的內(nèi)壁涂覆吸音材料，罐身1為圓柱狀，罐蓋2有兩個(gè)且安裝在罐身1的兩端，罐身1上設(shè)有觀察窗3。

安裝平臺(tái)14位于罐體內(nèi)，安裝平臺(tái)14穿過(guò)罐身1固定安裝在罐體外的隔震基座4上，氣浮軸承包括氣浮套11和氣浮軸12，氣浮套11通過(guò)支座13固定安裝在安裝平臺(tái)14上。