[發(fā)明專利]用于處理工藝廢氣的洗滌器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410475214.4
• 申請日: 2014-09-17
• 公開（公告）號: CN104437029B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸商淳;鄭鐘文
• 申請（專利權(quán)）人: GNBS工程有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75;B01D53/68
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 武晨燕;徐川

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于處理半導(dǎo)體、液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display；LCD)或有機(jī)發(fā)光顯示器(Organic?Light?Emitting?Display；OLED)等平板顯示裝置和太陽能電池及LED制造工藝等中排出的廢氣的洗滌器。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體、LED或OLED等平板顯示裝置的制造工藝、太陽能電池或LED的制造工藝等使用特殊氣體的工藝中，會產(chǎn)生對人體和環(huán)境有害的廢氣(以下稱為“工藝廢氣”)。為了防止所述工藝廢氣引起的環(huán)境污染，工藝廢氣在被排放到外部之前，需要先對工藝廢氣進(jìn)行凈化處理。

所述工藝廢氣通過用于處理工藝廢氣的洗滌器得到凈化并排放到外部。一般來說，所述用于處理工藝廢氣的洗滌器，包括：反應(yīng)腔室，用于提供高溫的熱源，以分解工藝廢氣內(nèi)的有害物質(zhì)或促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)；水處理塔，用于在通過反應(yīng)腔室的廢氣中過濾固態(tài)粉末。

此外，所述工藝廢氣中含有大量的鹵化氫化合物，如在PFCs、CFCs在被等離子體處理的過程中產(chǎn)生的HF氣體、HCL氣體等。對于所述工藝廢氣中含有的鹵化氫化合物等水溶性氣體，主要利用使其通過水或噴射水的濕式工藝的方式，對其進(jìn)行捕集處理，這樣一來，會產(chǎn)生廢水，因此需要額外進(jìn)行廢水的收集和處理。

并且，使用所述濕式工藝時(shí)，存在含有鹵化氫化合物的水溶性氣體的處理效率低的問題。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)課題

本發(fā)明提供一種用于處理工藝廢氣的洗滌器，其利用胺系物質(zhì)可去除工藝廢氣中含有的水溶性氣體。

技術(shù)方案

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于處理工藝廢氣的洗滌器，其特征在于，包括：等離子體處理單元，使等離子體接觸工藝廢氣并分解所述工藝廢氣；冷卻單元，冷卻被所述等離子體處理單元分解后流入的所述工藝廢氣，以捕集反應(yīng)副產(chǎn)物；以及，反應(yīng)單元，使從所述冷卻單元流出的工藝廢氣接觸胺系物質(zhì)，通過酸堿反應(yīng)去除所述工藝廢氣中含有的水溶性氣體。

并且，所述等離子體處理單元包括：等離子體焰炬，用于產(chǎn)生等離子體；注入腔室，使從外部流入的工藝廢氣接觸所述等離子體；以及，反應(yīng)腔室，使所述等離子體接觸工藝廢氣并進(jìn)行反應(yīng)，以分解所述工藝廢氣。

并且，所述冷卻單元包括：冷卻外殼，使從等離子體處理單元流出的所述工藝氣體流入；第一冷卻板，對流入的所述工藝廢氣進(jìn)行一次冷卻，以捕集工藝廢氣的反應(yīng)副產(chǎn)物；以及，第二冷卻板，對通過所述第一冷卻板的所述工藝廢氣進(jìn)行二次冷卻，以捕集所述工藝廢氣的反應(yīng)副產(chǎn)物。此時(shí)，所述冷卻外殼包括：外殼主體，所述外殼主體的內(nèi)部為中空，具有一側(cè)壁、另一側(cè)壁、前側(cè)壁、后側(cè)壁、主體上板及主體下板，包括分別在所述主體上板的一側(cè)和另一側(cè)形成的廢氣流入口和廢氣流出口；第一隔壁，形成于在所述外殼主體的內(nèi)部以所述廢氣流入口為中心，在所述一側(cè)壁的相反側(cè)的位置，并在與所述后側(cè)壁之間形成第一隔壁孔；以及，第二隔壁，位于所述外殼主體的另一側(cè)壁和所述第一隔壁之間，形成于以所述廢氣流出口為中心，在所述另一側(cè)壁的相反側(cè)的位置，并包括在前側(cè)端的下邊緣形成的第二隔壁孔。并且，所述第一冷卻板為內(nèi)部中空的板狀，包括：從一側(cè)面向另一側(cè)面貫通并使所述工藝廢氣流動的氣體貫通管、使冷卻水流入到內(nèi)部的第一冷卻水流入口、以及使流入的冷卻水向外部流出的第一冷卻水流出口；多個(gè)所述第一冷卻板相互隔開，位于所述第一隔壁和第二隔壁之間，垂直于所述第一隔壁和第二隔壁，且平行于所述前側(cè)壁。并且，所述第二冷卻板，包括格柵網(wǎng)及冷卻管，所述冷卻管接觸所述格柵網(wǎng)并形成曲折形狀，用于從外部供給冷卻水并使其流出；多個(gè)所述第二冷卻板在所述第二隔壁和所述外殼主體的另一側(cè)壁之間構(gòu)成水平，并在垂直方向上相互隔開；所述第二冷卻板被設(shè)置為在與所述第二隔壁或所述另一側(cè)壁之間交替形成第二冷卻孔。

并且，本發(fā)明的用于處理工藝廢氣的洗滌器還包括：捕集單元，位于所述冷卻單元和所述反應(yīng)單元之間，使從所述冷卻單元流出的工藝廢氣流入，并冷卻流入的所述工藝廢氣，以捕集反應(yīng)副產(chǎn)物。此時(shí)，所述捕集單元包括：捕集外殼，所述捕集外殼的內(nèi)部為中空，具有使所述工藝廢氣從所述冷卻單元流入的捕集流入口，以及使所述工藝廢氣流出的捕集流出口；以及，捕集板，包括第一捕集板和第二捕集板，所述第一捕集板和第二捕集板交替層疊，在垂直方向上相互隔開；其中，所述第一捕集板為板狀，所述第一捕集板的外周面與所述捕集外殼的內(nèi)周面相鄰，并在所述第一捕集板的中央部分形成有第一捕集孔，所述第二捕集板為板狀，所述第二捕集板的外周面與所述捕集外殼隔開而形成第二捕集孔。