[發明專利]氧化鋁陶瓷基片的表面合金化工藝

在審

• 申請號: 201410473528.0
• 申請日: 2014-09-16
• 公開（公告）號: CN104451594A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 朱忠良
• 申請（專利權）人: 朱忠良
• 主分類號: C23C16/16
• 分類號: C23C16/16;C23C16/52;C23C16/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.一種氧化鋁陶瓷基片的表面合金化工藝，包括如下步驟：

(1)清洗基片，干燥；

(2)將基片放入抽真空的氣相沉積設備中，加熱下通入Fe(CO)₅和Cr(CO)₆的飽和蒸汽，沉積，保溫；

(3)熱擴散退火。

2.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(1)中的清洗為先將基片進行化學去污，然后超聲波清洗。

3.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中氣相沉積設備反應室的真空為10-25Pa，加熱的溫度為250-350℃，優選為280℃；

優選地，氣相沉積設備的反應室夾壁始終通水冷卻。

4.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中Fe(CO)₅和Cr(CO)₆的飽和蒸汽的純度為99％以上，優選為99.9％。

5.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中Fe(CO)₅和Cr(CO)₆的飽和蒸汽的流量為1-2mL·s^-1。

6.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中Fe(CO)₅的蒸汽溫度為5-15℃，優選為8℃；Cr(CO)₆的蒸汽溫度為50-60℃，優選為60℃。

7.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中沉積的時間為10min以上，優選為15-20min。

8.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中保溫的時間為4h以上，優選為5-6h。

9.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將基片進行化學去污，然后超聲波清洗，干燥；

(2)將基片放入抽真空為10-25Pa的氣相沉積設備中，加熱至250-350℃通入純度為99％以上的Fe(CO)₅和Cr(CO)₆的飽和蒸汽，沉積10min以上，保溫4h以上；其中通入的Fe(CO)₅的蒸汽溫度為5-15℃，Cr(CO)₆的蒸汽溫度為50-60℃；

(3)熱擴散退火。