[發明專利]鋁合金的表面合金化工藝在審
| 申請號： | 201410472958.0 | 申請日： | 2014-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN104213097A | 公開（公告）日： | 2014-12-17 |
| 發明（設計）人： | 朱忠良 | 申請（專利權）人： | 朱忠良 |
| 主分類號： | C23C16/34 | 分類號： | C23C16/34;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鋁合金 表面 合金 化工 | ||
1.一種鋁合金的表面合金化工藝，包括如下步驟：
(1)基體試樣預處理；
(2)將基片放入氣相沉積設備中，加熱下通入少量氫氣；
(3)開啟水浴加熱，通入氮氣，保溫；
(4)打開TiCl4流量計，并通入載氣沉積TiN涂層；
(5)停止通入氮氣和TiCl4，降溫；
(6)停止通入氫氣，降至常溫后出爐。
2.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(1)中基體試樣預處理包括：a)將基體加熱下在洗滌劑存在下進行超聲波清洗，b)然后在蒸餾水中超聲波清洗，c)接著將基體吹干，d)最后將基體烘干。
3.如權利要求2所述的合金化工藝，其特征在于，步驟a)中的加熱溫度為400-600℃，優選為450-550℃；
優選地，所述超聲波清洗的時間為5min以上，優選為15-30min。
4.如權利要求2所述的合金化工藝，其特征在于，步驟b)中的清洗時間為5min以上，優選為15-30min；
步驟c)中的吹干使用高壓氣體。
5.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(2)中加熱的溫度為500-650℃，氫氣的流量為0.5L/min。
6.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(3)中加熱的溫度為800-1000℃，氮氣和氫氣的流量比為0.5-2:1，保溫15min以上，優選為20-30min。
7.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(4)中TiCl4流量為0.5-1.5L/min，沉積的時間為10min以上，優選為20-40min。
8.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，步驟(5)中降溫至450-600℃，優選為500-550℃。
9.如權利要求1所述的合金化工藝，其特征在于，包括如下步驟：
(1)基體試樣預處理；
(2)將基片放入氣相沉積設備中，加熱至400-600℃下通入少量氫氣，氫氣的流量為0.5L/min；
(3)開啟水浴加熱至800-1000℃，通入氮氣，氮氣和氫氣的流量比為0.5-2:1，保溫15min以上；
(4)打開TiCl4流量計，TiCl4流量為0.5-1.5L/min，并通入載氣沉積TiN涂層10min以上；
(5)停止通入氮氣和TiCl4，降溫至450-600℃；
(6)停止通入氫氣，降至常溫后出爐。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
