[發(fā)明專利]一種在FPGA中實(shí)現(xiàn)直寫式光刻機(jī)數(shù)據(jù)傾斜的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410470287.4
• 申請日: 2014-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN104216238B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹旸;李陽
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇影速光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 徐州支點(diǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32244
• 代理人: 劉新合

1.一種在FPGA中實(shí)現(xiàn)直寫式光刻機(jī)數(shù)據(jù)傾斜的方法，其特征在于，數(shù)據(jù)傾斜的步驟如下：

(1)首先將每行數(shù)據(jù)按照每列及傾斜控制字K進(jìn)行提取分組，即將數(shù)據(jù)每隔K列挑出一列放在一起組成一組，共K組；

(2)將步驟(1)得到的各組數(shù)據(jù)分別送入并行的傾斜模塊進(jìn)行Y方向上的傾斜處理，每組數(shù)據(jù)中的每列數(shù)據(jù)依次向下移位一個(gè)像素，各組數(shù)據(jù)之間依次向下移位K個(gè)像素，因向下移位所空缺出來的數(shù)據(jù)位由寄存器的初始化值進(jìn)行補(bǔ)充；處理后生成的數(shù)據(jù)送入DDR2進(jìn)行緩存；

(3)最后，將DDR2中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)讀出，并進(jìn)行X方向上的傾斜，即根據(jù)傾斜控制字K將數(shù)據(jù)在X方向上每K行錯(cuò)位一列，因錯(cuò)位所空缺出來的數(shù)據(jù)位由寄存器的初始化值進(jìn)行補(bǔ)充，傾斜處理后的圖形數(shù)據(jù)可以滿足圖形發(fā)生器的要求。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在FPGA中實(shí)現(xiàn)直寫式光刻機(jī)數(shù)據(jù)傾斜的方法，其特征在于，利用FPGA的高速數(shù)據(jù)處理能力，使步驟(1)、步驟(2)和步驟(3)構(gòu)建成一個(gè)流水線結(jié)構(gòu)。