[發(fā)明專利]一種Al添加Ni?W合金靶材及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410469925.0
• 申請日: 2014-09-15
• 公開（公告）號: CN105420678B
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鳳戈;穆健剛;李建奎;周麗麗;梁俊才;周寧;陳鵬;劉健
• 申請（專利權(quán)）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C22C19/03
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11387
• 代理人: 劉春成,榮紅穎

1.一種Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，

所述Al添加Ni-W合金靶材按原子百分比由以下元素組成：Al 0.5-10％，W 3.5-15％，Ni 75～96％；

所述Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，依次包括配料步驟，中間合金熔煉步驟，二次熔煉、鑄錠步驟，鍛造步驟，一次熱處理步驟，軋制步驟、二次熱處理步驟和機(jī)加工生產(chǎn)成品步驟，其中：

在所述配料步驟中，按照設(shè)計(jì)的合金靶材的成分配比分別稱取各金屬原料鎳、鋁以及鎢棒；

在所述中間合金熔煉步驟中，將稱量好的金屬鎳和鎢塊放入真空感應(yīng)熔煉爐內(nèi)進(jìn)行真空感應(yīng)熔煉，其中，熔煉溫度控制在1650～1700℃，精煉時(shí)間為10-15min，熔煉完成后冷卻中間合金液，當(dāng)所述中間合金液溫度達(dá)到Ni-W合金的液相線以上50～100℃時(shí)開始澆鑄，從而獲得鎳鎢中間合金錠坯；

在所述二次熔煉、鑄錠步驟中，首先將鎳鎢中間合金錠坯放入真空感應(yīng)熔煉爐內(nèi)進(jìn)行真空感應(yīng)熔煉，其中熔煉溫度控制在1650～1700℃，精煉時(shí)間為5-10min，精煉完成時(shí)通過熔煉爐加料漏斗將金屬Al塊加入真空感應(yīng)熔煉爐內(nèi)，待金屬Al塊全部熔化后對Ni-W-Al合金液進(jìn)行冷卻，當(dāng)熔煉爐內(nèi)的合金液溫度冷卻至三種Ni-W-Al合金的液相線以上50～100℃時(shí)開始澆鑄，獲得Ni-W-Al合金錠坯；

在所述鍛造步驟中，將Ni-W-Al合金錠坯先放入保溫爐中，在1000～1300℃條件下保溫2～4小時(shí)，然后再對所述Ni-W-Al合金錠坯進(jìn)行鍛造以得到一定尺寸規(guī)格的鍛坯；

在所述一次熱處理步驟中，將所述鍛坯在1100℃～1350℃條件下保溫20～36小時(shí)進(jìn)行熱處理，然后空冷、爐冷或淬火冷卻至室溫；

在所述軋制步驟中，將所述一次熱處理后的鍛坯在1050～1300℃條件下保溫1.5～2.5小時(shí)后進(jìn)行熱軋，然后冷卻至室溫并在室溫條件下進(jìn)行冷軋，所述冷軋的總變形量為30～50％；

在所述二次熱處理步驟中，將冷軋后得到的板坯在900℃～1150℃條件下保溫20～120分鐘，出爐空冷；

在所述機(jī)加工生產(chǎn)成品步驟中，將二次熱處理后的Ni-W-Al合金板坯按尺寸要求機(jī)加工成成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，

所述Al添加Ni-W合金靶材按原子百分比由以下元素組成：Al 1-5％，W 5-10％，Ni 84～95％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，

在所述中間合金熔煉步驟和所述二次熔煉、鑄錠步驟中，所述真空感應(yīng)熔煉的真空度為0.1Pa以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，在所述鍛造步驟中，所述Ni-W-Al合金錠坯在1070-1270℃條件下保溫。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，在所述一次熱處理步驟中，將所述鍛坯在1220℃～1320℃條件下保溫。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，在所述軋制步驟中，將所述一次熱處理后的鍛坯放入軋鋼加熱的馬弗爐中在1070-1270℃條件下保溫后進(jìn)行熱軋。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，將所述一次熱處理后的鍛坯放入軋鋼加熱的馬弗爐中在1100-1200℃條件下保溫1.8-2.2h后進(jìn)行熱軋。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的Al添加Ni-W合金靶材的制造方法，其特征在于，在所述軋制步驟中，所述熱軋的道次為2-3道次，熱軋總變形量控制在50-65％，熱軋各道次的變形量控制在20％～25％之間；所述冷軋的總變形量為40～45％，所述冷軋的各道次變形量控制在8-10％之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，在所述二次熱處理步驟中，將冷軋后得到的板坯在1000℃～1150℃條件下保溫60～120分鐘。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，在所述配料步驟中，所述金屬原料的純度均在99.95％以上。