[發明專利]旋轉靶材及其制造方法

有效

• 申請號: 201410465638.2
• 申請日: 2014-09-12
• 公開（公告）號: CN105463390B
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發明（設計）人: 張鳳戈;穆健剛;馬志偉;李建奎;楊本潤;劉健;陳鵬
• 申請（專利權）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;B23P15/00
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 劉春成;榮紅穎

1.一種旋轉靶材，其特征在于，包括管狀結構的管體和環狀結構的端頭，所述端頭的內徑固定地套設于所述管體的端部；所述管體包括外徑依次減小的本體段、連接段、收縮段；所述連接段與本體段的相鄰臺階和所述端頭的端面接觸；

所述本體段與連接段之間的交界處的剖面與水平面的夾角、所述連接段與收縮段之間的交界處的剖面與水平面的夾角、所述管體與端頭的接觸面與水平面的夾角均為90度；

所述端頭的內徑比所述旋轉靶材使用完后的最小外徑小1mm，所述連接段的外徑比所述端頭的內徑大0mm以上，且所述連接段的外徑比所述端頭的內徑大0.1mm以下。

2.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述管體的端部外表面光滑，所述端頭的內表面光滑，所述管體的端部和所述端頭之間為過盈配合。

3.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述管體的端部設有外螺紋，所述端頭的內表面設有內螺紋，所述管體的端部和所述端頭之間螺紋連接。

4.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述管體的端部和所述端頭之間夾置有導電導熱的墊片。

5.根據權利要求1所述的旋轉靶材，其特征在于，所述管體的端部外徑收縮變小，且所述端頭的外表面設有向所述管體傾斜的斜面。

6.根據權利要求1-5任一所述的旋轉靶材，其特征在于，所述端頭、管體為鎳鉻材質。

7.一種旋轉靶材的制造方法，其特征在于，

所述旋轉靶材包括管狀結構的管體和環狀結構的端頭，所述端頭的內徑固定地套設于所述管體的端部，所述管體包括外徑依次減小的本體段、連接段、收縮段；所述連接段與本體段的相鄰臺階和所述端頭的端面接觸；

所述本體段與連接段之間的交界處的剖面與水平面的夾角、所述連接段與收縮段之間的交界處的剖面與水平面的夾角、所述管體與端頭的接觸面與水平面的夾角均為90度；

所述端頭的內徑比所述旋轉靶材使用完后的最小外徑小1mm，所述連接段的外徑比所述端頭的內徑大0mm以上，且所述連接段的外徑比所述端頭的內徑大0.1mm以下；

所述制造方法包括以下步驟：

鍛造步驟：將扒皮完畢的錠坯在900～1200℃條件下保溫1～4h，然后鍛造成圓環狀鍛坯；

熱處理步驟：將所述圓環狀鍛坯在900～1200℃條件下保溫1～4h，然后冷卻，得到熱處理后的圓環狀鍛坯；

套設步驟：將所述熱處理后的圓環狀煅坯緊密地套設在管體的端部，得到連接為一體的端頭和管體；

機加工步驟：根據具體的尺寸，對所述連接為一體的端頭和管體進行機加工。

8.根據權利要求7所述的旋轉靶材的制造方法，其特征在于，

所述鍛造步驟中，將扒皮完畢的錠坯放入馬弗爐中在1100～1200℃條件下保溫1.8～2.2小時；和/或，

所述熱處理步驟中，將所述圓環狀鍛坯在1000～1050℃條件下保溫1～2h，然后空冷；和/或，

所述套設步驟中，將所述熱處理后的圓環狀鍛坯在200～300℃條件下加熱0.5～1h，得到加熱后的圓環狀煅坯；然后熱鑲嵌，使所述加熱后的圓環狀煅坯和管體緊密連接。

9.根據權利要求7或8所述的旋轉靶材的制造方法，其特征在于，

在所述套設步驟之前，還包括預加工步驟：

把所述熱處理后的圓環狀煅坯的內徑加工到比旋轉靶材使用完后的最小外徑小1mm，把管體端部的連接段的外徑尺寸加工到比煅坯的內徑尺寸大0mm以上，且所述管體端部的連接段的外徑尺寸比所述煅坯的內徑尺寸大0.1mm以下。