[發明專利]檢查裝置以及檢查系統

在審

• 申請號: 201410460945.1
• 申請日: 2014-09-11
• 公開（公告）號: CN104459806A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 加屋野博幸;平岡俊郎
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01V3/12
• 分類號: G01V3/12;G01N22/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王成坤;胡建新

1.一種檢查裝置，其特征在于，

發送天線裝置和接收天線裝置分別相對于被測量物對置，所述發送天線裝置與發送微波的具有發送裝置的發送部連接，所述接收天線裝置與具有接收裝置的接收部連接，

所述接收天線裝置接收由所述發送天線裝置發送并透射了所述被測量物的微波、相位延遲了的微波和在所述被測量物中蔓延的微波中的至少某一個微波，

所述接收部是指向性天線。

2.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述接收部是可變指向性天線。

3.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述發送天線裝置具有相對于接收天線裝置等距離地配置的一個或多個發送部，

用具有一個接收部的所述接收天線裝置接收從所述一個或多個發送部發送的微波。

4.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述發送天線裝置具有接收部，

用所述發送天線裝置的接收部接收由所述發送天線裝置發送并由被測量物反射的微波。

5.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述接收天線裝置具有能夠相對于所述被測量物在上下、左右或上下及左右中的某一個方向上移動的驅動裝置。

6.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述發送天線裝置具有多個發送不同的頻率的微波的發送部。

7.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

在所述發送天線裝置的發送部的外緣部、所述發送天線裝置的接收部和所述接收天線裝置的接收部的外緣部中的至少某一個外緣部具有電磁波吸收體。

8.如權利要求1至7中任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

所述接收部是超導天線。

9.一種檢查系統，具有：

發送單元，對被測量物發送微波；

接收單元，接收透射了所述被測量物的微波、相位延遲了的微波和在所述被測量物中蔓延的微波中的至少某一個微波；以及

檢測單元，對接收到的信號進行解析，檢測被測量物中的異物，

所述接收單元具有指向性天線。

10.如權利要求9所述的檢查系統，其特征在于，

所述檢測單元根據接收到的信號，制作包含被測量物中的金屬和電介體中的至少某一個的分布圖像。

11.如權利要求9所述的檢查系統，其特征在于，

所述檢測單元對預先按被測量物的每個種類制作的不具有異物的基準數據和測量數據進行比較，來進行異物檢測。

12.如權利要求9至11中任一項所述的檢查系統，其特征在于，

所述檢測單元測量金屬和電介體中的某一個的量或分布，在所述量或分布超過了閾值時進行報告。