[發明專利]樣品調整控制器

有效

• 申請號: 201410459528.5
• 申請日: 2014-09-10
• 公開（公告）號: CN105403541B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 喻霽陽
• 申請（專利權）人: 冠研（上海）專利技術有限公司
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22;G01N23/2202;G01N23/227;G01N23/2273
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 吳俊

一種樣品調整控制器，包括控制部、關節部、樣品部及傳動部，其中控制部的一端連接關節部的一端，關節部的另一端連接樣品部，而傳動部分別連接控制部、關節部和樣品部，關節部是由至少一個波紋管構成，操作者能透過操控控制部的控制把手帶動傳動部的傳動桿，使關節部被傳動桿帶動，進一步改變樣品部的位置；本發明的樣品調整裝器是適合用于任何程度真空的環境。

技術領域

本發明是關于一種樣品調整控制器，特別是運用在真空環境的樣品調整控制器。

背景技術

表面科學是一種研究物體表面微結構的學問，包括了解不同相位的接口的研究，我們可以藉由對接口特性的了解來解釋一些宏觀的現象，在半導體制程、磁性材料、超導體、燃料電池等方面，表面科學都是相當重要的。

光電子能譜學(photo electron spectroscopy, PES)是一種表面科學的分析技術，可用來觀察物體的表面元素構成、純物質的實驗式、混合物內的雜質元素等，進而分析特定條件下的材料表面，因為光電效應原理當待測物受到真空紫外線(vacuum ultraviolet)，或 X射線等激發光源照射，待測物中的電子被激發而射出光電子，藉由分析光電子的動能、電離能、強度等物理量，便能了解待測物的性質，這樣的測量必須在高真空的環境下進行。

在進行表面測量時，實驗人員有時候需要調整待測物的位置，而一般在大氣中觀測儀器使用之驅動系統，因為含有潤滑劑揮發等問題的限制，并不適合運用于高真空的環境，因此應用在光電子能譜儀之驅動組件必需使用超高真空兼容之調整裝置，

目前所知的光電子能譜儀所用的待測物調整裝置有一些問題，例如真空中異質金屬材料難以焊接，或在旋轉待測物時旋轉中心若非待測物的中心，造成旋轉角度后，必需調整X軸及Y軸才能回到樣品中心；另外，在面對需要加熱或冷卻的待測物時，待測物調整裝置各組件間的密合程度不佳，可能會造成量測不準確、密封破壞甚至傷害整個機構；因此，發明人認為有必要提供一種新的樣品調整控制器。

發明內容

如前所述，發明人為了解決目前光電子能譜儀中的待測物調整器的問題，提供了一種包括波紋管的樣品調整控制器。

本發明提供了一種樣品調整控制器，其特征在于：控制部，其上配置有控制把手；中心桿，其一端和所述控制部連接；垂直關節部，其一端和所述中心桿連接，其中，所述垂直關節部是由第一波紋管及第二波紋管串接而成，所述第一波紋管及所述第二波紋管相接處和傳動齒輪相接；樣品部，位于所述樣品調整控制器的底端，具有樣品座及樣品載臺，所述樣品座和所述垂直關節部的另一端連接，所述樣品載臺位于所述樣品座的外側表面；及傳動部，具有傳動桿，所述傳動桿的一端和所述控制把手相接，所述傳動桿的另一端套設有蝸桿，所述蝸桿和所述傳動齒輪的復數個齒輪牙相接合；其中，所述蝸桿的轉動能帶動所述第一波紋管及所述第二波紋管的形變，進一步帶動所述樣品部轉動。

根據本發明的樣品調整控制器，可以藉由傳動部的設計，使得操作者在旋轉待測物時，是可以使待測物且提供了依X、Y軸及Z軸為中心軸，等進行不同維度的旋轉自由度，增加了表面測量實驗的方便性。

由于本發明的樣品調整控制器是需要對待測物進行加熱或是冷卻，故本發明的樣品調整控制器可以藉由樣品座材料的選擇，使得樣品座具有良好的導熱性能，而不會因為加熱或冷卻而造成損壞，可以保持整個機具的密封度與潔凈度。

附圖說明

圖1為 本發明的樣品調整控制器示意圖；

圖2A為 本發明樣品調整控器的傳動部示意圖；

圖2B為 本發明控制部和傳動部連接示意圖；

圖3A為 本發明的關節部剖視示意圖；

圖3B為 本發明的關節部形變示意圖；

圖4為 本發明的關節部與樣品座相接處的剖面示意圖；