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[發明專利]f?theta光學鏡頭有效

專利信息
申請號: 201410457580.7 申請日: 2014-09-10
公開(公告)號: CN104317034B 公開(公告)日: 2017-04-19
發明(設計)人: 孫明睿;劉金榮;蒲繼祖 申請(專利權)人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
主分類號: G02B13/00 分類號: G02B13/00
代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所(普通合伙)11004 代理人: 朱麗巖
地址: 100176 北京市大*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: theta 光學 鏡頭
【權利要求書】:

1.一種f-theta光學鏡頭,其特征在于,包括沿光線入射方向設置的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡及第五透鏡,其中,所述第一透鏡為凹凸型正透鏡,所述第二透鏡為雙凹型負透鏡,所述第三透鏡為凹凸型正透鏡,所述第四透鏡為凹凸型正透鏡,所述第五透鏡為平凸型正透鏡,該鏡頭的焦距為257mm,入瞳直徑為15mm,入射光波長為355nm,視場角為11o,加工面積為100×100mm;

所述第一透鏡包括相對的第一曲面及第二曲面,其中,所述第一曲面的曲率半徑為-485mm,所述第二曲面的曲率半徑為-155mm;所述第一透鏡的光軸中心厚度為10mm,所述第一透鏡的材料為石英玻璃,所述第一透鏡的折射率為1.46。

2.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述第二透鏡包括相對的第三曲面及第四曲面,其中,所述第三曲面的曲率半徑為-73mm,所述第四曲面的曲率半徑為197mm;所述第二透鏡的光軸中心厚度為10mm,所述第二透鏡的材料為K9玻璃,所述第二透鏡的折射率為1.53。

3.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述第三透鏡包括相對的第五曲面及第六曲面,其中,所述第五曲面的曲率半徑為-133mm,所述第六曲面的曲率半徑為-90mm;所述第三透鏡的光軸中心厚度為15mm,所述第三透鏡的材料為石英玻璃,所述第三透鏡的折射率為1.46。

4.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述第四透鏡包括相對的第七曲面及第八曲面,其中,所述第七曲面的曲率半徑為-534mm,所述第八曲面的曲率半徑為-159mm;所述第四透鏡的光軸中心厚度為20mm,所述第四透鏡的材料為K9玻璃,所述第四透鏡的折射率為1.53。

5.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述第五透鏡包括相對的第九曲面及第十曲面,其中,所述第九曲面的曲率半徑為無窮大,所述第十曲面的曲率半徑為-133mm;所述第五透鏡的光軸中心厚度為30mm,所述第五透鏡的材料為K9玻璃,所述第五透鏡的折射率為1.53。

6.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述第一透鏡與激光掃描振鏡的距離為30-50mm之間。

7.根據權利要求6所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述的第一透鏡與第二透鏡在光軸上的距離為50mm,所述第二透鏡與第三透鏡在光軸上的距離為15mm,所述第三透鏡與第四透鏡在光軸上的距離為12mm,所述第四透鏡與第五透鏡在光軸上的距離為30mm。

8.根據權利要求1所述的f-theta光學鏡頭,其特征在于,所述第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡及第五透鏡之間通過多個隔圈進行定位。

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