[發明專利]反力外引裝置及其方法在審
| 申請號： | 201410455900.5 | 申請日： | 2014-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN105467770A | 公開（公告）日： | 2016-04-06 |
| 發明（設計）人： | 廖飛紅;朱岳彬 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 外引 裝置 及其 方法 | ||
1.一種反力外引裝置，其特征在于，包括：內部框架、外部框架、位于所 述內部框架的工件臺、X向電機與Y向電機、位于所述Y向電機與外部框架之 間的Y向反力外引模塊、以及位于所述內部框架與外部框架之間的X向反力外 引模塊。
2.如權利要求1所述的反力外引裝置，其特征在于，所述X向反力外引模 塊為X向反力外引直線電機。
3.如權利要求2所述的反力外引裝置，其特征在于，所述X向反力外引模 塊的數量為2個。
4.如權利要求3所述的反力外引裝置，其特征在于，所述X向反力外引模 塊分布于所述X向電極的兩側。
5.如權利要求4所述的反力外引裝置，其特征在于，所述X向反力外引模 塊與所述X向電機驅動力方向平行，所述X向反力外引模塊與所述X向電機等 高。
6.如權利要求2所述的反力外引裝置，其特征在于，所述X向反力外引模 塊包括磁鐵與線圈，所述磁鐵安裝于所述內部框架上，所述線圈安裝于所述外 部框架上。
7.如權利要求2所述的反力外引裝置，其特征在于，所述X向反力外引模 塊包括磁鐵與線圈，所述磁鐵安裝于所述內部框架上，所述線圈通過彈簧阻尼 結構以及導向結構與所述外部框架相連接。
8.如權利要求7所述的反力外引裝置，其特征在于，所述彈簧阻尼結構為 橡膠塊，所述導向結構為導軌或柔性塊。
9.如權利要求1所述的反力外引裝置，其特征在于，還包括：控制器，用 于產生X向反力外引模塊抵消X向電機反力的控制力。
10.如權利要求9所述的反力外引裝置，其特征在于，所述2個X向反力 外引模塊產生的控制力滿足：
其中，L1、L2表示：當X向與Y向處于零位時，兩個X向反力外引模塊與X 向電機的距離；Y1表示：工件臺Y向在Y1的位置；Fx表示：X向電機在X 方向產生的反力。
11.一種反力外引方法，其特征在于，采用如權利要求1～10任意一項所述 的反力外引裝置，所述反力外引方法包括：
獲取工件臺Y向的位置以及X向電機的反力；
計算2個X向反力外引模塊需要的控制力理論值；
將所述控制力理論值進行濾波，輸出所述控制力的設定值；
將所述設定值輸入控制器，使得所述X向反力外引模塊輸出所需的控制力。
12.如權利要求11所述的反力外引方法，其特征在于，所述濾波包括低通 濾波與凹陷濾波。
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