[發明專利]一種基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀

有效

• 申請號: 201410449942.8
• 申請日: 2014-09-04
• 公開（公告）號: CN104236535B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 楊波;鄧允朋;殷勇;戴波;王行軍;胡迪
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01C19/5684
• 分類號: G01C19/5684
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀，其特征在于，包括設有電信號引出線的基座和置于基座上的微陀螺機械結構層；

微陀螺機械結構層包括第一子結構、第二子結構和子結構連接裝置，第一子結構和第二子結構通過子結構連接裝置連接；

第一子結構和第二子結構為結構相同的角速度測量子結構，所述的角速度測量子結構為軸對稱結構，包括質量塊、驅動機構、檢測機構和子結構固定基座；驅動機構有兩個，分別設在質量塊的上下兩端、并分別通過固接U型折疊梁與質量塊的上下兩端連接；檢測機構有四個，其中兩個設在質量塊上端的左右兩側、并分別通過固接U型折疊梁與質量塊上端的左右兩側連接，另外兩個設在質量塊下端的左右兩側、并分別通過固接U型折疊梁與質量塊下端的左右兩側連接；驅動機構和檢測機構均通過固定基座固定在基座上。

2.根據權利要求1所述的基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀，其特征在于，子結構連接裝置為軸對稱結構，包括第一連接裝置固定基座、第二連接裝置固定基座、第三連接裝置固定基座、第一梁間連接塊、第二梁間連接塊、第三梁間連接塊、第四梁間連接塊；

第二梁間連接塊和第四梁間連接塊的一端分別通過固接平行梁連接在第三連接裝置固定基座的兩端；第二梁間連接塊和第四梁間連接塊的另一端分別通過活動U型折疊梁與第一子結構和第二子結構中部的一側連接；第一子結構和第二子結構中部的另一側分別與第一梁間連接塊和第三梁間連接塊的一端連接，第一梁間連接塊和第三梁間連接塊的另一端分別通過活動U型折疊梁與第一連接裝置固定基座和第二連接裝置固定基座連接。

3.根據權利要求2所述的基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀，其特征在于，固接平行梁有四個，分別為第一固接平行梁、第二固接平行梁、第三固接平行梁和第四固接平行梁；

第二梁間連接塊的一端通過第一固接平行梁和第二固接平行梁與第三連接裝置固定基座的一端連接；第四梁間連接塊的一端通過第三固接平行梁和第四固接平行梁與第三連接裝置固定基座的另一端連接；第一平行梁連接桿的兩端分別與第一固接平行梁和第三固接平行梁的活動端連接，第二平行梁連接桿的兩端分別與第二固接平行梁和第四固接平行梁的活動端連接。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀，其特征在于，所述的驅動機構為微型驅動電容機構，所述的微型驅動電容機構包括驅動活動梳齒架、驅動活動梳齒、驅動固定梳齒和驅動反饋固定梳齒；

驅動活動梳齒有兩個以上，等間距垂直設在驅動活動梳齒架上；驅動固定梳齒和驅動反饋固定均與活動梳齒的數量相等，每個驅動活動梳齒的兩側均分別配合有一個驅動固定梳齒和一個驅動反饋固定梳齒，每個驅動固定梳齒和驅動反饋固定梳齒均固定在基座上，所有驅動反饋固定梳齒連為一體結構；驅動活動梳齒架通過固接U型折疊梁與質量塊連接。

5.根據權利要求4所述的基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀，其特征在于，所述的檢測機構為微型檢測電容機構，所述的微型檢測電容機構包括檢測活動梳齒架、檢測活動梳齒、檢測固定梳齒正極和檢測固定梳齒負極；

檢測活動梳齒有兩個以上，等間距垂直設在檢測活動梳齒架上；檢測固定梳齒正極和檢測固定梳齒負極均與檢測活動梳齒的數量相等，每個檢測活動梳齒的兩側均分別配合有一個檢測固定梳齒正極和一個檢測固定梳齒負極，每個檢測固定梳齒正極和檢測固定梳齒負極均固定在基座上，檢測固定梳齒正極連為一體結構；檢測活動梳齒架通過固接U型折疊梁與質量塊連接。

6.根據權利要求5所述的基于柔性連接的雙質量解耦硅微陀螺儀，其特征在于，所述基座上設置有驅動輸入引線、驅動反饋引線、檢測信號引線正極和檢測信號引線負極；

驅動輸入引線連通至驅動固定梳齒，驅動反饋引線連通至驅動反饋固定梳齒；檢測信號引線正極連通至檢測固定梳齒正極，檢測信號引線負極連通至檢測固定梳齒負極。