[發明專利]聚酰亞胺涂布及烘烤方法

有效

• 申請號: 201410449625.6
• 申請日: 2014-09-04
• 公開（公告）號: CN104261344A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: 高江;雷述宇
• 申請（專利權）人: 北方廣微科技有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B05D1/38;B05D3/02;B05D3/00;B05C11/02
• 代理公司: 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370
• 代理人: 朱海波

1.一種聚酰亞胺涂布及烘烤方法，其特征在于，該方法依次包括以下步驟：：

a)在晶圓表面涂布增粘劑；

b)對所述涂布過增粘劑的晶圓進行第一烘烤；

c)對所述第一烘烤過的晶圓進行第一冷卻；

d)在所述第一冷卻后的晶圓表面涂布聚酰亞胺；

e)對所述涂布有聚酰亞胺的晶圓進行第二烘烤；

f)對所述第二烘烤過的晶圓進行第二冷卻；

g)對所述第二冷卻后的晶圓進行紫外烘烤，所述紫外烘烤采用真空吸盤與深紫外燈共同加熱的模式。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在所述步驟a)在晶圓表面涂布增粘劑后對晶圓進行增粘劑浸潤。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，對晶圓進行增粘劑浸潤的時間為15-25秒。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，所述步驟d)具體包括：

旋轉晶圓，采用噴涂旋轉式對晶圓進行聚酰亞胺涂布；

對涂布后的晶圓進行靜置；

旋轉晶圓進行勻膠。

5.根據權利要求4所述的方法，其中，所述涂布的時間為20-25秒。

6.根據權利要求4所述的方法，其中，所述對晶圓進行靜置的時間為25-35秒。

7.根據權利要求4所述的方法，其中，所述勻膠的具體步驟為：

首先調整晶圓轉速為第一轉速，進行一定時間的第一步勻膠；

然后調整晶圓轉速至第二轉速，進行一定時間的第二步勻膠；

最后調整晶圓轉速至第三轉速，進行一定時間的第三步勻膠。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述第一轉速小于第三轉速小于第二轉速。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，所述步驟e)中對所述涂布有聚酰亞胺的晶圓進行第二烘烤的時間為25-35秒。

10.根據權利要求1所述的方法，其中，所述步驟f)對所述烘烤過的晶圓進行第二冷卻的時間為25-35秒。