[發明專利]一種堵片報警方法及系統

有效

• 申請號: 201410448637.7
• 申請日: 2014-09-04
• 公開（公告）號: CN104183671A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 李建朋;吳成新;王月超;李永洋;張繼偉;楊曉超
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種堵片報警方法，用于制絨機及濕法刻蝕機的堵片報警，其特征在于，包括以下步驟：

1)獲得硅片經過進片傳感器和出片傳感器所需的通過時間T；

2)判斷所述進片傳感器是否檢測到所述硅片，若是，進入步驟3)；若否，返回步驟2)；

3)判斷T時間后所述出片傳感器是否檢測到所述硅片，若是，返回步驟2)；若否，進入步驟4)；

4)發出堵片報警信號。

2.如權利要求1所述的堵片報警方法，其特征在于，步驟1)中還包括：

11)獲取所述進片傳感器和所述出片傳感器之間的距離L；

12)獲取所述硅片經過所述進片傳感器和所述出片傳感器的通過速度V；

13)根據距離L和通過速度V計算所述硅片的通過時間T＝L/V。

3.如權利要求2所述的堵片報警方法，其特征在于，步驟1)中還包括：

14)使一個硅片進入制絨機及濕法刻蝕機，所述進片傳感器檢測到所述硅片時，開始計時；

15)所述出片傳感器檢測到所述硅片時，計時結束，獲得所述硅片通過的實際時間T'；

16)判斷通過時間T是否等于實際時間T'，若等于，則進入步驟2)；若不等，則返回步驟11)。

4.如權利要求1至3任一項所述的堵片報警方法，其特征在于，步驟4)中發出堵片報警信號的同時，控制硅片停止進入制絨機及濕法刻蝕機。

5.一種堵片報警系統，用于制絨機及濕法刻蝕機的堵片報警，其特征在于，包括進片傳感器(2)、出片傳感器(3)、控制器(5)和報警器(4)，所述進片傳感器(2)、所述出片傳感器(3)和所述報警器(4)均通過信號線與所述控制器(5)相連；所述控制器(5)能夠獲得硅片(7)的通過時間，當所述進片傳感器(2)檢測到所述硅片(7)后，經過所述通過時間后，所述控制器(5)若未收到所述出片傳感器(3)檢測到所述硅片(7)的信號，則控制所述報警器(4)發出堵片報警信號。

6.如權利要求5所述的堵片報警系統，其特征在于，所述硅片(7)通過傳輸滾輪(1)移動，所述控制器(5)根據所述進片傳感器(2)與所述出片傳感器(3)之間的距離和所述傳輸滾輪(1)的轉動速度獲得所述硅片(7)的通過時間。

7.如權利要求6所述的堵片報警系統，其特征在于，所述傳輸滾輪(1)的轉動由馬達(6)控制，所述馬達(6)通過信號線與所述控制器(5)相連，以便所述控制器(5)獲得所述傳輸滾輪(1)的轉動速度。

8.如權利要求7所述的堵片報警系統，其特征在于，所述報警器(4)發出堵片報警信號時，所述控制器(5)控制所述馬達(6)停止運行。