[發明專利]等離子體放電裝置

有效

• 申請號: 201410443324.2
• 申請日: 2014-09-02
• 公開（公告）號: CN104332379B
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 黃邦斗;蒲以康
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 張大威

1.一種等離子體放電裝置，其特征在于，包括：

諧振電路，所述諧振電路包括串聯的電感裝置和電容，所述電感裝置包括磁芯和纏繞所述磁芯的線圈；其中，磁芯為鐵氧體磁芯，線圈由導線在鐵氧體磁芯上纏繞制成，鐵氧體磁芯組成閉合回路，所述電容包括第一電容和第二電容，所述第一電容設置在所述線圈的一端與匹配網絡之間，第一電容和第二電容與線圈串聯組成電容-電感(LC)串聯諧振回路，所述第二電容設置在所述線圈的另一端與匹配網絡之間；

交流電源，采用開關電源，為等離子體放電提供功率，其中，所述交流電源向纏繞在閉合磁路的鐵氧體磁芯上的線圈中通入交變電流，所述交變電流在閉合磁路的鐵氧體磁芯中產生交變的磁場，交變的磁場在空間產生出電場，利用所述電場激發出等離子體；

匹配網絡，所述匹配網絡設置在所述交流電源和所述諧振電路之間，用于匹配所述交流電源和等離子體的放電功率，減少交流電源的功率反射；

腔室，所述腔室用于產生所述等離子體，放電的氣壓可以調節，所述腔室為真空腔室，工作時氣體從腔室的一端進入，在線圈附近產生等離子體，等離子體中的產物從腔室另一端流出；

電介質層，所述電介質層位于所述腔室和所述電感裝置之間，將真空腔室中的等離子體與真空腔室外的線圈隔離開，同時保證真空腔室密封，同時所述腔室被構造為適于閉合磁回路形成的結構，其中，真空腔室為一個圓柱形腔，所述真空腔室中間橫穿多根管為電介質管；磁芯在電介質管中和真空腔室外形成回路，磁芯由一個半圓環和一個圓棒組合成，所述圓棒穿過電介質管，所述半圓環位于腔室外，且半圓環與圓柱形腔室結構相適應。

2.根據權利要求1所述的等離子體放電裝置，其特征在于，所述匹配網絡為L型匹配網絡、II型匹配網絡或阻抗變換的變壓器。