[發(fā)明專(zhuān)利]一種切斷體及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410436912.3
• 申請(qǐng)日: 2011-02-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104260215B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉川一男;浦塚昭典;家口浩;古保里隆;松島義武
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社鋼臂功科研
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司11021
• 代理人: 張玉玲

本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枺?01180010405.8，申請(qǐng)日：2011.02.23，發(fā)明名稱：“樹(shù)脂被覆鋸絲的設(shè)計(jì)方法”的申請(qǐng)(PCT/JP2011/054032)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及以鋸床切斷硅和陶瓷等的工件時(shí)所使用的鋸絲，詳細(xì)地說(shuō)，是涉及設(shè)計(jì)在鋼絲的表面被覆有樹(shù)脂的樹(shù)脂被覆鋸絲的方法。

背景技術(shù)

硅和陶瓷等的工件，被安裝有鋸絲的鋸床切斷。鋸絲沿一個(gè)方向或雙方向(往返方向)運(yùn)行，通過(guò)使該鋸絲與工件接觸，工件被以任意的寬度切割。

在工件的切斷時(shí)，已知的方法有，一邊向鋸絲噴射含有磨粒(以下稱為游離磨粒。)的研磨漿一邊切斷工件的方法(現(xiàn)有方法1)，和使用在基底絲的表面附著固定有磨粒的帶固定磨粒鋸絲切斷工件的方法(現(xiàn)有方法2)。前者的方法中，噴射的研磨漿所含的游離磨粒被卷入工件與鋸絲之間，鋸絲與工件的磨耗被促進(jìn)，由此工件的磨削加工得到促進(jìn)，工件被切斷。另一方面，后者的方法中，通過(guò)固定在表面的磨粒使工件的磨耗得到促進(jìn)，從而工件的磨削加工促進(jìn)，工件被切斷。

另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)有一種方法(現(xiàn)有方法3)，其是使用以帶磨粒的樹(shù)脂皮膜被覆高碳鋼等的鋼絲的外周面的金屬絲，一邊埋入含有游離磨粒的溶液，一邊切斷工件的方法。

于是，以鋸絲切斷硅的切斷體，例如，作為太陽(yáng)能電池的基板使用。不過(guò)，在切斷體的切斷面，在切斷時(shí)形成有加工變質(zhì)層(也稱為損傷層。)。有該加工變質(zhì)層殘留的狀態(tài)下，其被指出對(duì)于基板的接合品質(zhì)變差，無(wú)法充分地獲得作為太陽(yáng)能電池的特性(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)，需要除去該加工變質(zhì)層。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2006－179677號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2000－323736號(hào)公報(bào)

圖1表示如上述現(xiàn)有方法1的這樣，作為鋸絲使用鋼絲，向鋼絲噴射游離磨粒，一邊卷入磨粒一邊進(jìn)行切斷時(shí)的情況。若根據(jù)本發(fā)明者們的研究則可知，在該方法中，磨粒沿著對(duì)于工件切入鋼絲的方向被卷入，并且鋼絲與工件的切斷面(工件壁面)之間有磨粒卷入，因此工件的切斷面也被實(shí)施磨削加工，形成加工變質(zhì)層。另外判明，切斷面的表面粗糙度也變粗。

圖2表示如上述現(xiàn)有方法2、3這樣，將固定磨粒固定在鋸絲的表面，或一邊埋入磨粒一邊切斷工件時(shí)的情況。根據(jù)本發(fā)明者們的研究，這些方法均與上述圖1同樣，對(duì)于工件的切斷面(工件的壁面)也會(huì)實(shí)施磨削加工，因此加工變質(zhì)層形成得深。

如上述圖1、圖2所示，在現(xiàn)有方法中，在切斷體的切斷面形成有加工變質(zhì)層，因此如上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2所指出的，需要通過(guò)下游側(cè)的工序除去該加工變質(zhì)層。如果省略這一加工變質(zhì)層除去工序，則能夠提高切斷體的成品率和生產(chǎn)率。

另外，上述切斷面除了形成加工變質(zhì)層以外，由于切斷時(shí)所使用的磨粒還導(dǎo)致有凹凸形成而變得粗糙。但是切斷體的表面通常要求是平滑的，因此在下游側(cè)的工序?qū)嵤┪g刻。如果省略該蝕刻工序，則能夠提高切斷體的生產(chǎn)率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于這樣的狀況而完成，其目的在于，提供一種樹(shù)脂被覆鋸絲的設(shè)計(jì)方法，其在使用鋼絲的表面被覆有樹(shù)脂的樹(shù)脂被覆鋸絲切斷工件時(shí)，能夠得到加工變質(zhì)層深度淺，有著平滑的表面的切斷體。

本發(fā)明包含以下的形態(tài)。

[1]一種樹(shù)脂被覆鋸絲的設(shè)計(jì)方法，其包括以規(guī)定硬度的樹(shù)脂被覆鋼絲，得到樹(shù)脂被覆鋸絲的工序，其中，

通過(guò)反復(fù)進(jìn)行下述(1)～(4)，以使工件的切斷面的加工變質(zhì)層深度合格的方式調(diào)節(jié)樹(shù)脂的硬度。

(1)以所得到的樹(shù)脂被覆鋸絲切斷工件。

(2)調(diào)查工件的切斷面的加工變質(zhì)層深度。

(3)確認(rèn)加工變質(zhì)層深度的合格與否。

(4)不合格時(shí)，用更硬的樹(shù)脂被覆鋼絲。

還有，作為上述合格與否的標(biāo)準(zhǔn)，只要能夠得到本發(fā)明的效果這樣的加工變質(zhì)層深度即可，例如，可列舉如后述這樣，加工變質(zhì)層深度5μm以下作為合格的標(biāo)準(zhǔn)。

[2]根據(jù)[1]所述的設(shè)計(jì)方法，其中，所述加工變質(zhì)層深度比5μm深時(shí)，以更硬的樹(shù)脂被覆鋼絲。

[3]一種樹(shù)脂被覆鋸絲的設(shè)計(jì)方法，其包括以規(guī)定硬度的樹(shù)脂被覆鋼絲，得到樹(shù)脂被覆鋸絲的工序，其中，

通過(guò)反復(fù)進(jìn)行下述(1)～(4)，以使工件的切斷面的表面粗糙度合格的方式調(diào)節(jié)樹(shù)脂的硬度。

(1)以所得到的樹(shù)脂被覆鋸絲切斷工件。

(2)調(diào)查工件的切斷面的表面粗糙度。

(3)確認(rèn)表面粗糙度的合格與否。

(4)不合格時(shí)，以更硬的樹(shù)脂被覆鋼絲。