[發明專利]泵浦源檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請號: 201410436705.8
• 申請日: 2014-08-28
• 公開（公告）號: CN104165757A
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 樊仲維;黃科;趙天卓;何建國;麻云鳳;肖紅;劉洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種泵浦源檢測裝置，其特征在于，包括：

底座，開設有燕尾槽及方形槽，所述燕尾槽沿所述底座的水平方向設置，所述方形槽開設于所述底座的一端；

泵浦源組件，包括：

泵浦源夾持支架，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑動；

環狀半導體泵浦源，固定設于所述泵浦源夾持支架的豎直部，所述泵浦源夾持支架的豎直部還開設有與所述環形半導體泵浦源圓心重合的通孔，包括冷卻熱沉、封裝于所述冷卻熱沉上的若干水平線Bar、開設于所述冷卻熱沉上的冷卻水輸入口及冷卻水輸出口；及

衰減片夾持部，固定設于所述泵浦源夾持支架的豎直部上，且與所述環狀半導體泵浦源位于所述豎直部的同一側，所述衰減片夾持部用于夾持衰減片，所述衰減片的厚度可調；

選光器組件，包括：

選光器支座，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑動；

鎖緊環，可旋轉地安裝于所述選光器支座的豎直部上；及

卡光桶，其內部收容有反射鏡，所述反射鏡通過一支桿固定連接于所述鎖緊環，所述卡光桶的桶壁上還開設有通光槽，所述反射鏡的反射面正對所述通光槽，通過所述鎖緊環帶動所述支桿旋轉，使得所述通光槽對準所述水平線Bar；

發散角測試組件，包括：

CCD采集光具座，由第一二維移動平臺組成，可在所述燕尾槽內和所述方形槽內沿水平和豎直方向移動；

線陣CCD，固定于所述CCD采集光具座上，所述線陣CCD的采集面可以圍繞所述線陣CCD的采集面的中心軸自由旋轉，所述線陣CCD用于接受經過所述反射鏡發射的水平線Bar的輻射激光；

光強測試組件，包括：

能量采集光具座，可在所述燕尾槽內和所述方形槽內沿水平和豎直方向移動；

能量計探頭，通過一可伸縮桿與所述能量采集光具座固定連接，所述能量計探頭用于接收經所述反射鏡反射的水平線Bar的輻射光；

光譜測試組件，包括：

光譜采集光具座，可在所述燕尾槽內和所述方形槽內沿水平和豎直方向移動；

光電探頭，安裝于所述光譜采集光具座上，用于接收經所述反射鏡反射的水平線Bar的輻射光。

2.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述水平線Bar為15條，且等間距地封裝于所述冷卻熱沉上。

3.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述泵浦源夾持支架的豎直部還設有兩個通水孔，所述兩個通水孔分別與所述冷卻水輸入口及冷卻水輸出口重合。

4.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述衰減片夾持部上開設有若干夾持槽及貫穿所述夾持槽的螺孔，通過螺母與螺孔配合將所述衰減片夾持于所述夾持槽內。

5.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述鎖緊環可以以360°的旋轉角度帶動所述支桿旋轉。

6.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述卡光桶壁厚不大于3mm，所述通光槽寬為2mm，長為30mm。

7.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述反射鏡為鍍808nm的45°的高反膜反射鏡。

8.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述線陣CCD采集線長為50mm。

9.根據權利要求1所述的泵浦源檢測裝置，其特征在于，所述能量計探頭接收靶面直徑不小于100mm。

10.一種泵浦源檢測方法，其特征在于，包括下述步驟：

將所述半導體泵浦源固定與所述泵浦源夾持支架上，所述泵浦源夾持支架的豎直部的通孔與所述環形半導體泵浦源圓心重合，所述泵浦源夾持支架的豎直部的兩個通水孔分別與所述冷卻水輸入口及冷卻水輸出口重合，連接外部水箱與冷卻水輸入口和冷卻水輸出口并通水，接通所述半導體泵浦源的電源，使所述若干水平線Bar產生輻射激光；

調節所述衰減片夾持槽的厚度，插入衰減片，使所述衰減片遮蔽所述環狀半導體泵浦源的內徑；

旋轉所述鎖緊環，使所述通光槽對準其中一條水平線Bar，記為第一單線Bar，并將所述卡光桶推入所述環狀半導體泵浦源內，所述反射鏡反射所述第一單線Bar的輻射光；

將所述光強測試組件、發散角測試組件及所述光譜測試組件移動至所述方形槽內，將發散角測試組件移動至燕尾槽內，移動所述CCD采集光具座，使所述線陣CCD接收經所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的快慢軸發散角的測試；

旋轉所述鎖緊環，使所述通光槽對準另一條水平線Bar，記為第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的輻射光；

移動所述CCD采集光具座，使所述線陣CCD接收經所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的快慢軸發散角的測試；

重復上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的快慢軸發散角的測試；

旋轉所述鎖緊環，使所述通光槽對準所述第一單線Bar，所述反射鏡反射所述第一單線Bar的輻射光；

將所述發散角測試組件移動至所述方形槽內，及將所述能量采集光具座移動至所述燕尾槽，并調節所述能量采集光具座使所述能量計探頭接收經所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的光強測試；

旋轉所述鎖緊環，使所述通光槽對準所述第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的輻射光；

移動所述能量采集光具座，使所述能量計探頭接收經所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光強測試；

重復上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光強測試；

將所述光強測試組件移動至所述方形槽，及將所述光譜采集光具座移動至所述燕尾槽，并調節所述光譜采集光具座使所述光電探頭接收經所述反射鏡反射的第一單線Bar的輻射光，完成對所述第一單線Bar的輻射光的光譜測試；

旋轉所述鎖緊環，使所述通光槽對準所述第二單線Bar，所述反射鏡反射所述第二單線Bar的輻射光；

移動所述光譜采集光具座，使所述光電探頭接收經所述反射鏡反射的第二單線Bar的輻射光，完成對所述第二單線Bar的輻射光的光譜測試；

重復上述步驟，完成對余下所述水平線Bar的光譜測試。