[發明專利]具有改進的空氣清除能力的微閥

有效

• 申請號: 201410436462.8
• 申請日: 2014-06-24
• 公開（公告）號: CN104235497B
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: E·N·福勒;P·阿魯納薩拉姆;C·楊;M·魯克維克;J·奧杰達
• 申請（專利權）人: 浙江盾安禾田金屬有限公司
• 主分類號: F16K99/00
• 分類號: F16K99/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 曲瑩

1.一種微閥，包括：

第一板，包括其內設置有第一致動器空腔的表面，所述第一致動器空腔包括：具有第一縱向末端和與第一縱向末端相對的第二縱向末端的縱向延伸的第一空腔部分，第一縱向末端限定出終端區域；具有能夠從微閥中排出空氣的結構的第二空腔部分以及從所述第一空腔部分的終端區域向所述第二空腔部分延伸的第一排氣結構；以及

第二板，具有抵靠第一板的所述表面的表面，并包括可移位構件，所述可移位構件布置在所述致動器空腔內，在閉合位置和打開位置之間移動，在閉合位置，所述可移位構件防止經由微閥的流體連通，在打開位置，所述可移位構件不再防止經由微閥的流體連通。

2.如權利要求1所述的微閥，其中：

所述第一致動器空腔包括上部致動器臂空腔部分、中央致動器臂空腔部分、下部致動器臂空腔部分、致動器肋空腔部分、致動器脊空腔部分和鉸鏈空腔部分；并且其中

所述可移位構件包括布置在上部致動器臂空腔部分中的密封部分、布置在中央致動器臂空腔部分中的縱長臂部分、布置在鉸鏈空腔部分中的鉸鏈部分、布置在致動器脊空腔部分中的多個致動器肋以及將多個致動器肋連接到縱長臂部分的中央脊。

3.如權利要求1所述的微閥，其中所述第一排氣結構為設置在所述第一板的所述表面上的溝槽。

4.如權利要求1所述的微閥，還包括：

第三板，包括其內設置有第二致動器空腔的表面，所述第二致動器空腔包括具有終端區域的縱向延伸的第三空腔部分以及具有能夠從微閥中排出空氣的結構的第四空腔部分；并且其中

所述可移位構件也布置在所述第三板的第二致動器空腔內，在閉合位置和打開位置之間移動。

5.如權利要求4所述的微閥，其中所述第三板包括從所述第三板的第三空腔部分的終端區域向所述第三板的第四空腔部分延伸的第二排氣結構。

6.如權利要求5所述的微閥，其中所述第三板的第二排氣結構為設置在所述第三板的所述表面上的溝槽。

7.一種微閥，包括：

基板，包括其內設置有第一致動器空腔的表面，所述第一致動器空腔包括：具有第一縱向末端和與第一縱向末端相對的第二縱向末端的縱向延伸的第一空腔部分，第一縱向末端限定出終端區域；具有能夠從微閥中排出空氣的結構的第二空腔部分以及從所述第一空腔部分的終端區域向所述第二空腔部分延伸的第一排氣結構；

蓋板，包括其內設置有第二致動器空腔的表面，所述第二致動器空腔包括：具有第三縱向末端和與第三縱向末端相對的第四縱向末端的縱向延伸的第三空腔部分，第三縱向末端限定出終端區域；具有能夠從微閥中排出空氣的結構的第四空腔部分；和從所述第三空腔部分的終端區域向所述第四空腔部分延伸的第二排氣結構；以及

中間板，具有抵靠所述基板的所述表面的第一表面和抵靠所述蓋板的所述表面的第二表面，所述中間板包括布置在所述基板的第一致動器空腔和所述蓋板的第二致動器空腔內的可移位構件，所述可移位構件在閉合位置和打開位置之間移動，在閉合位置，所述可移位構件防止經由微閥的流體連通，在打開位置，所述可移位構件不再防止經由微閥的流體連通。

8.如權利要求7所述的微閥，其中

所述蓋板的第二致動器空腔和所述基板的第一致動器空腔均包括上部致動器臂空腔部分、中央致動器臂空腔部分、下部致動器臂空腔部分、致動器肋空腔部分、致動器脊空腔部分和鉸鏈空腔部分；并且其中

所述可移位構件包括布置在各上部致動器臂空腔部分中的密封部分、布置在各中央致動器臂空腔部分中的縱長臂部分、布置在各鉸鏈空腔部分中的鉸鏈部分、布置在各致動器脊空腔部分中的多個致動器肋以及將所述多個致動器肋連接到所述縱長臂部分的中央脊。

9.如權利要求7所述的微閥，其中所述基板的第一排氣結構為設置在所述基板的所述表面上的溝槽。

10.如權利要求7所述的微閥，其中所述蓋板的第二排氣結構為設置在所述蓋板的所述表面上的溝槽。

11.如權利要求7所述的微閥，其中所述基板的第一排氣結構為設置在所述基板的所述表面上的溝槽，所述蓋板的第二排氣結構為設置在所述蓋板的所述表面上的溝槽。