[發明專利]一種用于單晶爐的停爐冷卻方法無效
| 申請號： | 201410436075.4 | 申請日： | 2014-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN104213188A | 公開（公告）日： | 2014-12-17 |
| 發明（設計）人： | 曾世銘;高一凡;劉立中;高兆伍 | 申請（專利權）人： | 江蘇拜爾特光電設備有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京天華專利代理有限責任公司 32218 | 代理人： | 李德濺;夏平 |
| 地址： | 214264*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 單晶爐 冷卻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于單晶爐的停爐冷卻方法，其特征在于：該停爐冷卻方法的步驟如下：1）在單晶爐拉制單晶結束后，首先停止加熱系統供電；2）接著繼續通0.5～3小時的氬氣并運行真空泵以冷卻單晶硅棒；3）關閉真空大閥，將氬氣壓力充到-0.025MPa后停止通入氬氣并關閉真空泵，保壓繼續冷卻2～4.5小時后即可拆爐。
2.根據權利要求1所述的用于單晶爐的停爐冷卻方法，其特征在于：步驟2）中的氬氣通入時間與步驟3）中的保壓繼續冷卻時間之和為5小時。
3.根據權利要求1或2所述的用于單晶爐的停爐冷卻方法，其特征在于：步驟2）中的氬氣通入時間為0.5～2小時。
4.根據權利要求1所述的用于單晶爐的停爐冷卻方法，其特征在于：步驟1）中的加熱系統停止供電后單晶硅棒以1～3毫米/分鐘的速度旋轉上升。
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