[發明專利]一種半導體芯片耐腐蝕性研磨劑在審
| 申請號: | 201410434147.1 | 申請日: | 2014-08-29 |
| 公開(公告)號: | CN104231940A | 公開(公告)日: | 2014-12-24 |
| 發明(設計)人: | 寧貽偉 | 申請(專利權)人: | 寧貽偉 |
| 主分類號: | C09G1/02 | 分類號: | C09G1/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 266000 山*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 芯片 腐蝕性 研磨劑 | ||
【權利要求書】:
1.一種半導體芯片耐腐蝕性研磨劑,其特征在于,包括下列重量份數的物質:表面活性劑3-9份,有機添加劑4-7份,調節劑1-3份,水性介質50-55份,山梨醇11-18份,聚丙烯7-10份,聚乙烯9-16份,甘油1-8份,氯化鈣3-7份,氯化鋁1-2份,氯化鉀1-2份,助溶劑1份,潤濕劑1份,分散劑1份。
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