[發明專利]一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管

在審

• 申請號: 201410433643.5
• 申請日: 2014-08-29
• 公開（公告）號: CN104183679A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 林志偉;陳凱軒;張永;楊凱;蔡建九;白繼鋒;卓祥景;姜偉;劉碧霞
• 申請（專利權）人: 廈門乾照光電股份有限公司
• 主分類號: H01L33/38
• 分類號: H01L33/38
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 廖吉保;唐紹烈

1.一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：在發光結構一側設置歐姆接觸層，在歐姆接觸層上設置粗化層；在粗化層上形成溝槽，在溝槽中裸露的歐姆接觸層表面形成擴展電極，在粗化層表面形成焊盤電極，焊盤電極與擴展電極連接導通。

2.如權利要求1所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：溝槽設置為“一”字型，設置為四個，在四個溝槽內蒸鍍金屬材料形成擴展電極，焊盤電極設置在粗化層表面中心區域，與四個溝槽形成擴展電極分別連接導通。

3.如權利要求1所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：溝槽設置為“十”字型，設置為四個，在四個溝槽內蒸鍍金屬材料形成擴展電極，焊盤電極設置在粗化層表面中心區域，與四個溝槽形成擴展電極分別連接導通。

4.如權利要求1所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：溝槽設置為“Г”字型，設置為四個，在四個溝槽內蒸鍍金屬材料形成擴展電極，焊盤電極設置在粗化層表面中心區域，與四個溝槽形成擴展電極分別連接導通。

5.如權利要求1至4任一項所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：發光結構包括第一型電流擴展層、第一型限制層、有源層、第二型限制層及第二型電流擴展層；有源層一側設置第一型限制層，第一型限制層上設置第一型電流擴展層，第一型電流擴展層上設置歐姆接觸層，歐姆接觸層上設置粗化層；有源層另一側設置第二型限制層，第二型限制層上設置第二型電流擴展層。

6.如權利要求5所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：第二型電流擴展層上設置金屬反射層。

7.如權利要求6所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：金屬反射層鍵合在基板上，基板上設置背電極。

8.如權利要求5所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：粗化層的厚度為1.5-2μm。

9.如權利要求5所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：粗化層材料包括Al_xGa_1-xAs、(Al_yGa_1-y)_0.5In_0.5P，1≥x≥0，1≥y≥0。

10.如權利要求5所述的一種具有嵌入式擴展電極的紅外發光二極管，其特征在于：歐姆接觸層材料包括Al_xGa_1-xAs、(Al_yGa_1-y)_0.5In_0.5P，0.1≥x≥0，0.05≥y≥0；歐姆接觸層的厚度為50-200nm。