日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]拋光漿料以及使用所述拋光漿料的襯底拋光方法有效

專利信息
申請號: 201410432719.2 申請日: 2014-08-28
公開(公告)號: CN104746080B 公開(公告)日: 2017-12-19
發明(設計)人: 鄭勝元 申請(專利權)人: 優備材料有限公司
主分類號: C23F3/06 分類號: C23F3/06
代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205 代理人: 臧建明
地址: 韓國京畿道龍*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 拋光 漿料 以及 使用 襯底 方法
【權利要求書】:

1.一種用于鎢的拋光漿料,包括:

磨料,用于進行拋光且具有正的動電位;以及

電位調節劑,用于控制所述磨料的所述動電位,

所述電位調節劑包括選自由以下各者組成的群組中的至少一者:草酸鐵鉀、乙二胺四乙酸鐵鈉、鐵氰化鉀以及乙酰丙酮鐵(III),

其中以所述拋光漿料的總量計,所述電位調節劑所占的量是0.001重量%到1重量%,且所述磨料的所述動電位通過所述電位調節劑控制在+5毫伏到-5毫伏之內。

2.根據權利要求1所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述磨料包括二氧化鋯顆粒。

3.根據權利要求2所述的用于鎢的拋光漿料,其中以所述拋光漿料的總量計,所述磨料所占的量是大于0.2重量%到小于或等于10重量%。

4.根據權利要求2所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述電位調節劑通過產生陰離子來控制所述磨料的所述動電位。

5.根據權利要求4所述的用于鎢的拋光漿料,其中根據所述電位調節劑的濃度來控制所述鎢對絕緣層的拋光選擇性。

6.根據權利要求5所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述磨料的所述動電位是5毫伏到3.5毫伏,且所述鎢對所述絕緣層的所述拋光選擇性是1:1到1:8。

7.根據權利要求5所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述磨料的所述動電位是通過所述電位調節劑控制在-2毫伏到2毫伏,且所述鎢對所述絕緣層的所述拋光選擇性大于或等于6:1。

8.根據權利要求5所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述磨料的所述動電位是通過所述電位調節劑控制在2毫伏到3.5毫伏或小于或等于-2毫伏,且所述鎢對所述絕緣層的所述拋光選擇性是1:1到2:1。

9.根據權利要求1所述的用于鎢的拋光漿料,還包括分散劑,用于使所述磨料分散且用于將所述磨料的所述動電位控制到比所述電位調節劑控制的所述動電位小的量。

10.根據權利要求9所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述分散劑包括陰離子聚合材料、陽離子聚合材料或非離子聚合材料。

11.根據權利要求10所述的用于鎢的拋光漿料,其中

所述陰離子聚合材料包括選自由以下各者組成的群組中的至少一者:聚丙烯酸、多羧酸、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基硫酸鈉和聚苯乙烯磺酸鈉,

所述陽離子聚合材料包括選自由以下各者組成的群組中的至少一者:聚賴氨酸、聚乙烯亞胺、氯化本索寧、5-溴-5-硝基-1,3-二惡烷、西曲溴銨、西曲氯銨、雙十八烷基二甲基氯化銨、四甲基氫氧化銨、二硬脂基二甲基氯化銨、聚羥丙基二甲基氯化銨、1,2-二油酰基-3-三甲胺丙烷和聚丙烯胺,且

所述非離子聚合材料包括選自由以下各者組成的群組中的至少一者:聚乙烯吡咯烷酮、聚環氧乙烷、聚乙烯醇、羥乙基纖維素、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、β-環糊精、果糖、葡萄糖和半乳糖。

12.根據權利要求10所述的用于鎢的拋光漿料,其中以所述拋光漿料的總量計,所述分散劑所占的量是大于0.001重量%到小于或等于1重量%。

13.根據權利要求9所述的用于鎢的拋光漿料,還包括用于使所述鎢的表面氧化的氧化劑。

14.根據權利要求13所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述氧化劑包括選自由以下各者組成的群組中的至少一者:過氧化氫、過氧化脲、過硫酸銨、硫代硫酸銨、次氯酸鈉、過碘酸鈉、過硫酸鈉、碘酸鉀、過氯酸鉀和過硫酸鉀。

15.根據權利要求13所述的用于鎢的拋光漿料,其中以所述拋光漿料的總量計,所述氧化劑所占的量是0.5重量%到5重量%。

16.根據權利要求1所述的用于鎢的拋光漿料,還包括用于控制所述拋光漿料的pH值的pH控制劑。

17.根據權利要求16所述的用于鎢的拋光漿料,其中所述拋光漿料的pH值小于或等于4。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于優備材料有限公司,未經優備材料有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410432719.2/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产91免费在线| 亚洲精品日韩精品| 69xx国产| 少妇自拍一区| 亚洲欧美另类综合| 扒丝袜网www午夜一区二区三区| 精品videossexfreeohdbbw| 狠狠躁日日躁狂躁夜夜躁| 91精品夜夜| 97精品国产97久久久久久免费| 国产精品爽到爆呻吟高潮不挺| 国产一二区在线观看| 午夜av电影网| 久久精品一区二区三区电影| 色综合久久综合| 欧美一区二区三区中文字幕| 亚洲欧美制服丝腿| 7777久久久国产精品| 亚洲精品国产一区| 日本精品一区在线| 国产在线干| 精品国产一区二区三区四区vr| 日本一区二区欧美| 麻豆精品一区二区三区在线观看| 欧美激情精品久久久久久免费| 国产乱色国产精品播放视频| 精品久久国产视频| 精品国产乱码久久久久久久久 | 性视频一区二区三区| 亚洲精品少妇一区二区| 少妇自拍一区| 国产精品一区二区在线观看| 欧美日韩国产欧美| 亚洲国产精品肉丝袜久久| 亚洲乱码一区二区三区三上悠亚| 久久69视频| 色婷婷噜噜久久国产精品12p| 欧美67sexhd| 欧美hdfree性xxxx| 午夜av影视| 国产1区2区3区| 日韩夜精品精品免费观看| 国产亚洲综合一区二区| 国产精品天堂| 欧美一区二区三区精品免费| 国产电影精品一区| 国产理论一区二区三区| 欧美人妖一区二区三区| 亚洲精品人| 日本一区二区在线观看视频| 国产日产高清欧美一区二区三区 | 玖玖爱国产精品| 香港日本韩国三级少妇在线观看 | www色视频岛国| 欧美日韩亚洲国产一区| 国产的欧美一区二区三区| 991本久久精品久久久久| 国产理论一区二区三区| 亚洲欧洲一区二区| 日本一区二区在线观看视频| 综合国产一区| 亚洲二区在线播放视频| 99久久国产综合精品麻豆| 99精品国产一区二区三区麻豆| 国产精品电影一区| 91国偷自产中文字幕婷婷| 少妇厨房与子伦免费观看| 久久国产精品-国产精品| 日韩a一级欧美一级在线播放| 国产精品5区| 狠狠色噜噜狠狠狠狠69| 国产乱对白刺激视频在线观看| 国产一区二区三区的电影| 国模一区二区三区白浆| 国产日韩欧美网站| 躁躁躁日日躁网站| 国产欧美性| 强制中出し~大桥未久10| 午夜看片网| 国产精品视频二区不卡| 538国产精品一区二区在线| 亚洲精品国产久| 亚洲制服丝袜中文字幕| 国产一区在线视频播放| 国产精品一区不卡| 最新国产一区二区| 久久精品麻豆| 欧美一区二区激情三区| 国产一区中文字幕在线观看| 欧美日韩一区二区高清| 国产91在线播放| 美女脱免费看直播| 国产视频一区二区在线播放| 26uuu亚洲国产精品| 91波多野结衣| 91精品夜夜| 久久国产精品-国产精品| 欧美一级久久久| 99热久久这里只精品国产www| 国产一级二级在线| 躁躁躁日日躁网站| 欧美亚洲精品suv一区| 久久99久久99精品免观看软件| 欧美中文字幕一区二区| 国产天堂第一区| 国产精品欧美日韩在线| 国产视频一区二区在线| ass美女的沟沟pics| 国产欧美日韩精品在线| 日韩av在线网址| 狠狠躁日日躁狂躁夜夜躁av| 国产97免费视频| 国产v亚洲v日韩v欧美v片| 欧美精选一区二区三区| 午夜精品一区二区三区三上悠亚| 狠狠躁狠狠躁视频专区| 国产精品自拍在线观看| 国产专区一区二区| 精品国产一区二区在线| 欧美三级午夜理伦三级中视频 | 夜夜嗨av禁果av粉嫩av懂色av| 狠狠色噜噜综合社区| 99日本精品| 中文无码热在线视频| 日本一区欧美| 久久国产精品免费视频| 亚洲精品乱码久久久久久写真| 欧美一区二区三区三州| 日韩av在线电影网| 精品国产乱码一区二区三区在线| 日本一区二区三区中文字幕| 国产乱了高清露脸对白| 午夜理伦影院| 欧美乱码精品一区二区三| 欧美激情精品一区| 在线国产一区二区| 久久精品国产亚洲一区二区| 91久久国产视频| yy6080影院旧里番乳色吐息| 国产精品九九九九九九九| 久久久99精品国产一区二区三区| 国产精品视频免费一区二区| 精品国产鲁一鲁一区二区作者| 日韩电影在线一区二区三区| 色噜噜狠狠狠狠色综合久 | 国产精品一二三在线观看| 性欧美一区二区三区| 久久久久国产精品一区二区三区| 久草精品一区| 9999国产精品| 国产黄一区二区毛片免下载| 国产日韩欧美色图| 最新国产精品自拍| 亚洲精品少妇一区二区 | 7799国产精品久久99| 狠狠躁狠狠躁视频专区| 97久久精品人人做人人爽| 午夜av免费观看| 午夜影院啊啊啊| 亚洲va久久久噜噜噜久久0| 精品美女一区二区三区| 96精品国产| 久久精品—区二区三区| 国产乱码一区二区| 国产女人和拘做受视频免费| 精品欧美一区二区精品久久小说 | 亚洲va国产2019| 一区二区三区国产精品| 8x8x国产一区二区三区精品推荐 | 欧美精品xxxxx| 精品亚洲午夜久久久久91| 色综合久久综合| 久久一区二区精品| 国产精品久久免费视频在线| 精品中文久久| 久久99精品国产麻豆宅宅| 美女被羞羞网站视频软件| 九一国产精品| 久久精品入口九色| 91久久国语露脸精品国产高跟 | 国产91精品一区| 国产91丝袜在线熟| 国产jizz18女人高潮| av午夜剧场| 欧美国产一区二区在线| 国内精品在线免费| 国产一级精品在线观看| 亚洲精品国产久| 四虎国产精品永久在线国在线| 国产精品一区二区av麻豆| 免费观看xxxx9999片| 午夜一级免费电影| www.日本一区| 一区二区三区欧美精品| 农村妇女毛片精品久久| 国产精品一品二区三区四区五区| 日本精品一区二区三区在线观看视频 | 亚洲精华国产欧美| 国产精品视频1区| 91精品一区二区中文字幕| 国产午夜伦理片| 丰满少妇在线播放bd日韩电影| 国产91一区| 91精品一区在线观看| 麻豆精品一区二区三区在线观看| 国产欧美亚洲精品| 麻豆精品国产入口| 中文字幕a一二三在线| 午夜私人影院在线观看| 亚洲精品日日夜夜| 扒丝袜pisiwa久久久久| 国产亚洲精品久久久久久网站| 欧美日韩三区二区| 高清欧美精品xxxxx| 国产伦精品一区二区三区电影| 国产高清无套内谢免费| 一二三区欧美| 国产精品免费观看国产网曝瓜| 一级久久久| 一区精品二区国产| 国产精品刺激对白麻豆99| 国产日产高清欧美一区二区三区| 国产伦精品一区二区三| 91麻豆精品国产91久久久久推荐资源| 午夜在线看片| 国产欧美一区二区三区免费视频 | 999亚洲国产精| 亚洲欧美一二三| 91九色精品| 国产日韩欧美第一页| 93久久精品日日躁夜夜躁欧美| 国产69精品久久久久app下载| 97人人模人人爽人人喊38tv| 国产精品一区二区人人爽| 色噜噜狠狠色综合中文字幕| 欧美精品日韩| 精品一区中文字幕| 高清欧美精品xxxxx| 欧美精品一区二区三区久久久竹菊| 视频一区二区国产| 欧美精品八区| 亚洲麻豆一区| 欧美一区二区久久| 亚洲国产欧美一区二区三区丁香婷 | 日韩av在线一区| 日韩中文字幕亚洲欧美|