[發(fā)明專利]一種硅片帶電多線切割方法及帶電多線切割裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410432029.7
• 申請日: 2014-08-28
• 公開（公告）號: CN104175409A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀鵬;常成新;藺文;宗紅梅;安強
• 申請（專利權(quán)）人: 西安華晶電子技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 61213
• 代理人: 景麗娜

1.一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于該方法包括以下步驟：

步驟一、硅棒粘接：將待切割硅棒(1)固定于多線切割機的工作臺上，固定過程如下：

步驟101、玻璃板固定：將玻璃板(2)粘接固定于所述工作臺上；

步驟102、導(dǎo)電膠帶固定：在步驟101中所述玻璃板(2)上涂抹一層粘接膠，并將導(dǎo)電膠帶(3)粘接固定于玻璃板(2)上；

步驟103、硅棒固定：將待切割硅棒(1)粘接固定于玻璃板(2)上，并使步驟102中所述導(dǎo)電膠帶(3)粘接固定于待切割硅棒(1)的底面中部；

步驟二、直流電源接線：待步驟103中所述待切割硅棒(1)固定完成后，將導(dǎo)電膠帶(3)與直流電源(4)的負極連接，并將所述多線切割機中收放線機構(gòu)的放線輪(5)或收線輪(8)與直流電源(4)的正極連接；所述收放線機構(gòu)為對鋼線(6)進行收放的機構(gòu)；

步驟三、硅棒線帶電切割：接通直流電源(4)，采用所述多線切割機對待切割硅棒(1)進行切割；切割過程中，所述待切割硅棒(1)和鋼絲(6)均處于帶電狀態(tài)。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟二中所述直流電源(4)的電壓為35V～45V。

3.按照權(quán)利要求1或2所述的一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟102中所述導(dǎo)電膠帶(3)的寬度為3mm～10mm且其厚度小于0.5mm。

4.按照權(quán)利要求1或2所述的硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟102中所述導(dǎo)電膠帶(3)為雙面導(dǎo)電膠帶。

5.按照權(quán)利要求1或2所述的一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟102中所述導(dǎo)電膠帶(3)位于待切割硅棒(1)的正下方。

6.按照權(quán)利要求1或2所述的一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟102中所述玻璃板(2)上所粘接導(dǎo)電膠帶(3)的數(shù)量為多條，多條所述導(dǎo)電膠帶(3)呈平行布設(shè)；步驟103中所述待切割硅棒(1)的數(shù)量為多個，多條所述導(dǎo)電膠帶(3)的數(shù)量與多個所述待切割硅棒(1)的數(shù)量相同，多條所述導(dǎo)電膠帶(3)分別粘接固定于多個所述待切割硅棒(1)的底面中部；步驟二中進行通電接線時，將多條所述導(dǎo)電膠帶(3)均與直流電源(4)的負極連接；步驟三中進行硅棒線帶電切割時，采用所述多線切割機對多個所述待切割硅棒(1)同步進行切割。

7.按照權(quán)利要求1或2所述的一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟一中所述多線切割機包括機架和安裝在所述機架上的切割室(12)，所述工作臺由升降驅(qū)動機構(gòu)帶動進行升降，所述工作臺與所述升降驅(qū)動機構(gòu)進行傳動連接，所述升降驅(qū)動機構(gòu)安裝在所述切割室(12)內(nèi)；所述切割室(12)內(nèi)設(shè)置有兩個位于同一水平面上的導(dǎo)輪(7)，兩個所述導(dǎo)輪(7)的結(jié)構(gòu)和尺寸均相同；步驟二中所述收放線機構(gòu)安裝在所述機架上，所述收放線機構(gòu)包括放線輪(5)和收線輪(8)，所述鋼線(6)纏繞在兩個所述導(dǎo)輪(7)上并在兩個所述導(dǎo)輪(7)之間形成水平切割線網(wǎng)，兩個所述導(dǎo)輪(7)之間為切割區(qū)；所述工作臺為位于兩個所述導(dǎo)輪(7)之間上方的上工作臺(9)和/或位于兩個所述導(dǎo)輪(7)之間下方的下工作臺；所述切割室(12)內(nèi)裝有切割砂漿或設(shè)置有將切割砂漿噴至所述水平切割線網(wǎng)上的切割砂漿噴嘴；當(dāng)所述切割室(12)裝有切割砂漿時，所述切割室(12)內(nèi)還安裝有對所裝切割砂漿進行攪拌的攪拌器，且所述水平切割線網(wǎng)浸泡于所述切割室(12)內(nèi)所裝的切割砂漿中；步驟101中所述玻璃板(2)粘接固定于上工作臺(9)下方或所述下工作臺上方。

8.按照權(quán)利要求7所述的一種硅片帶電多線切割方法，其特征在于：步驟三中進行硅棒線帶電切割時，所述鋼線(6)的走線速度為9m/s～11m/s；所述攪拌器的攪拌速度為600rmp～1500rmp。

9.一種硅片帶電多線切割裝置，其特征在于：包括直流電源(4)、與直流電源(4)的負極連接的導(dǎo)電膠帶(3)和對待切割硅棒(1)進行切割的多線切割機；所述導(dǎo)電膠帶(3)粘接固定于待切割硅棒(1)的底面中部，所述多線切割機的工作臺上粘接固定有玻璃板(2)，所述玻璃板(2)上涂抹有一層第一粘接膠涂層(10-1)，所述導(dǎo)電膠帶(3)粘接固定于玻璃板(2)上所涂抹的第一粘接膠涂層(10-1)上，所述多線切割機中收放線機構(gòu)的放線輪(5)或收線輪(8)與直流電源(4)的正極連接。

10.按照權(quán)利要求9所述的一種硅片帶電多線切割裝置，其特征在于：所述導(dǎo)電膠帶(3)、放線輪(5)和收線輪(8)與直流電源(4)之間均通過電纜(11)進行連接，所述直流電源(4)的電壓為35V～45V。