[發明專利]一種平面解耦復雜軌跡研拋設備

有效

• 申請號: 201410429301.6
• 申請日: 2014-08-28
• 公開（公告）號: CN104148996A
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 李增強;宗文俊;曹志民
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: B24B3/00
• 分類號: B24B3/00
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種平面解耦復雜軌跡研拋設備，包括機架（1）、氣浮主軸軸系（2）及機構控制部件（3），其特征是：所述的機構控制部件（3）包括電機支座（3-1）、空心直角電機（3-2）、中心軸（3-3）、單向軸承（3-4）、轉盤（3-5）、連桿（3-6）、深溝球軸承（3-7）、偏心輪（3-8）、過渡板（3-10）、直線導軌副（3-11）、彎板（3-12）及定位螺栓（3-13）；

所述的機架（1）上部設置有工作臺（1-1），機架（1）下部設置有托板（1-2），機架（1）的工作臺（1-1）中心開設有通孔，工作臺（1-1）中心的通孔內豎直安裝有氣浮主軸軸系（2）；電機支座（3-1）與機架（1）的托板（1-2）可拆卸連接，電機支座（3-1）內的上方固定安裝有空心直角電機（3-2），中心軸（3-3）下端設置在空心直角電機（3-2）內腔中，中心軸（3-3）與空心直角電機（3-2）轉子以及轉盤（3-5）和偏心輪（3-8）同軸；轉盤（3-5）水平設置在電機支座（3-1）的頂板（3-1-1）上方，轉盤（3-5）靠近外周邊設置有至少一個定位孔（3-5-1），電機支座（3-1）的頂板（3-1-1）上固定有定位螺栓（3-13），定位螺栓（3-13）設置在轉盤（3-5）的定位孔（3-5-1）內；轉盤（3-5）與中心軸（3-3）之間裝有單向軸承（3-4），轉盤（3-5）與單向軸承（3-4）外環緊固連接，中心軸（3-3）分別與空心直角電機（3-2）的轉子、單向軸承（3-4）及偏心輪（3-8）連接；直線導軌副（3-11）設置在轉盤（3-5）的上表面并位于定位孔（3-5-1）的相對側，直線導軌副（3-11）與轉盤（3-5）可拆卸連接，過渡板（3-10）置于直線導軌副（3-11）上表面，過渡板（3-10）與彎板（3-12）的豎直板可拆卸連接，過渡板（3-10）上表面開有盲孔，滾針軸承單元（3-9）安裝在過渡板（3-10）的盲孔內，滾針軸承單元（3-9）與連桿（3-6）連接，連桿（3-6）水平設置，連桿（3-6）內安裝有深溝球軸承（3-7），深溝球軸承（3-7）內安裝有偏心輪（3-8），連桿（3-6）通過深溝球軸承（3-7）同偏心輪（3-8）構成回轉副；氣浮主軸軸系（2）通過位于其下端的電機端蓋（2-3-2）與機構控制部件（3）的彎板（3-12）的水平板可拆卸連接。

2.根據權利要求1所述的一種平面解耦復雜軌跡研拋設備，其特征是：所述的轉盤（3-5）由兩個連為一體的扇形轉盤構成，兩個連為一體的扇形轉盤相對設置，兩個連為一體的扇形轉盤包括大扇形轉盤（3-5-2）和小扇形轉盤（3-5-3），大扇形轉盤（3-5-2）靠近外邊緣設置三個所述的定位孔（3-5-1），所述的定位螺栓（3-13）設置在其中一個定位孔（3-5-1）內；直線導軌副（3-11）設置在小扇形轉盤（3-5-3）上表面，直線導軌副（3-11）與小扇形轉盤（3-5-3）可拆卸連接。

3.根據權利要求1或2所述的一種平面解耦復雜軌跡研拋設備，其特征是：所述的氣浮主軸軸系（2）包括研拋盤（2-1）、氣浮主軸部件（2-2）及無框電機部件（2-3）；所述的氣浮主軸部件（2-2）豎直設置，研拋盤（2-1）水平設置在氣浮主軸部件（2-2）上端，且二者可拆卸連接；氣浮主軸部件（2-2）固定設置在無框電機部件（2-3）內，且二者同軸設置。