[發(fā)明專(zhuān)利]激光加工裝置和激光加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410428261.3
• 申請(qǐng)日: 2009-10-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104162740A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 瀧口優(yōu);松本直也;福智升央;井上卓;竹森民樹(shù);向坂直久
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/06
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/06;G03H1/08
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種激光照射裝置，其特征在于：

是對(duì)對(duì)象物照射包含2個(gè)以上的基本圖案的整體圖案的激光的激光照射裝置；

該激光照射裝置具備：

輸出激光的激光光源，

空間光調(diào)制器，輸入從所述激光光源輸出的激光，并顯示分別在被二維排列的多個(gè)像素上調(diào)制所述激光的整體全息圖，從而輸出其調(diào)制后的激光，

存儲(chǔ)部，將對(duì)應(yīng)于基本圖案的基本全息圖進(jìn)行存儲(chǔ)，并且將相當(dāng)于菲涅耳透鏡圖案的聚光用全息圖進(jìn)行存儲(chǔ)，

成像光學(xué)系統(tǒng)，包含遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，輸入從所述空間光調(diào)制器輸出的激光，并將該激光在所述對(duì)象物上成像，所述遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)被配置成使得在所述空間光調(diào)制器上顯示的聚光用全息圖的焦點(diǎn)距離上建立成像關(guān)系，以及

控制部，將所述聚光用全息圖重疊于所述存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的基本全息圖從而構(gòu)成整體全息圖，將該構(gòu)成的整體全息圖顯示于所述空間光調(diào)制器中。

2.如權(quán)利要求1所述的激光照射裝置，其特征在于：

所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)分別相當(dāng)于焦點(diǎn)距離互為不同的多個(gè)菲涅耳透鏡圖案的多個(gè)聚光用全息圖，

所述成像光學(xué)系統(tǒng)的成像位置以及成像倍率為可變的，

所述控制部使重疊于所述基本全息圖的所述聚光用全息圖的焦點(diǎn)距離和所述成像光學(xué)系統(tǒng)的成像位置或者成像倍率發(fā)生互相關(guān)聯(lián)，從而進(jìn)行控制。

3.如權(quán)利要求1所述的激光照射裝置，其特征在于：

所述控制部將多個(gè)整體全息圖并列配置并顯示于所述空間光調(diào)制器中，

所述激光照射裝置具備：入射位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，相對(duì)于被顯示于所述空間光調(diào)制器中的多個(gè)整體全息圖，使從所述激光光源輸出的激光按順序入射；以及成像位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，調(diào)整在所述對(duì)象物上的由所述成像光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行的激光的成像的位置。

4.如權(quán)利要求1所述的激光照射裝置，其特征在于：

所述控制部在將所述聚光用全息圖重疊于所述基本全息圖從而構(gòu)成所述整體全息圖時(shí)，使所述聚光用全息圖內(nèi)接于所述基本全息圖。

5.如權(quán)利要求1所述的激光照射裝置，其特征在于：

所述控制部在將所述聚光用全息圖重疊于所述基本全息圖從而構(gòu)成所述整體全息圖時(shí)，在所述基本全息圖和所述聚光用全息圖互相不重疊的區(qū)域、以及所述基本全息圖和所述聚光用全息圖都不存在的區(qū)域，進(jìn)行隨機(jī)相位調(diào)制。

6.如權(quán)利要求1所述的激光照射裝置，其特征在于：

所述控制部通過(guò)變更所述聚光用全息圖的焦點(diǎn)距離，從而調(diào)整在所述對(duì)象物上的所述基本圖案的尺寸。

7.如權(quán)利要求1所述的激光照射裝置，其特征在于：

所述整體全息圖是將2個(gè)以上的基本全息圖并列配置并將所述聚光用全息圖重疊于該并列配置的各個(gè)基本全息圖而成的全息圖。

8.一種激光照射方法，其特征在于：

是對(duì)對(duì)象物照射包含2個(gè)以上的基本圖案的整體圖案的激光的激光照射方法；

該激光照射方法是：

將相當(dāng)于菲涅耳透鏡圖案的聚光用全息圖重疊于與基本圖案相對(duì)應(yīng)的基本全息圖從而構(gòu)成整體全息圖，將該構(gòu)成的整體全息圖顯示于空間光調(diào)制器中，

向所述空間光調(diào)制器中入射從激光光源輸出的激光，并在所述空間光調(diào)制器的被二維排列的多個(gè)像素上分別將所述激光調(diào)制后輸出，

通過(guò)包含遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)成像光學(xué)系統(tǒng)，使由所述空間光調(diào)制器調(diào)制后輸出的激光在所述對(duì)象物上成像，其中，所述遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)被配置成使得在所述空間光調(diào)制器上顯示的聚光用全息圖的焦點(diǎn)距離上建立成像關(guān)系。

9.如權(quán)利要求8所述的激光照射方法，其特征在于：

在存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)分別相當(dāng)于焦點(diǎn)距離互為不同的多個(gè)菲涅耳透鏡圖案的多個(gè)聚光用全息圖，

使用成像位置以及成像倍率可變的系統(tǒng)作為所述成像光學(xué)系統(tǒng)，

使重疊于所述基本全息圖的所述聚光用全息圖的焦點(diǎn)距離和所述成像光學(xué)系統(tǒng)的成像位置或者成像倍率發(fā)生互相關(guān)聯(lián)，從而進(jìn)行控制。

10.如權(quán)利要求8所述的激光照射方法，其特征在于：

將多個(gè)整體全息圖并列配置并顯示于所述空間光調(diào)制器中，

對(duì)被顯示于所述空間光調(diào)制器中的多個(gè)整體全息圖，按順序入射從所述激光光源輸出的激光，

調(diào)整在所述對(duì)象物上的由所述成像光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行的激光的成像的位置。