[發明專利]去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法

在審

• 申請號: 201410425320.1
• 申請日: 2014-08-27
• 公開（公告）號: CN104241118A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 國天增;賀賢漢
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（天津）有限公司
• 主分類號: H01L21/311
• 分類號: H01L21/311
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203
• 代理人: 沈履君

1.去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1，使用堿性溶液對零件進行浸泡；

S2，使用酸性溶液對零件進行清洗；

S3，使用清洗液對零件進行清洗；

S4，對零件進行干燥。

2.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S1之前還包括一預處理步驟S0；其中

所述步驟S0包括：

S0.1，使用超純水對零件進行沖洗；和/或

S0.2，使用N₂或干凈的壓縮空氣吹干零件。

3.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S1包括還一步驟S1.1，所述步驟S1.1為對零件使用超純水進行漂洗處理。

4.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S2包括還一步驟S2.1，所述步驟S2.1為對零件使用超純水進行溢流處理。

5.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述堿性溶液的配比為體積比NH₄OH:H₂O₂:H₂O＝1:3:4。

6.根據權利要求1或5所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述堿性溶液的溫度為40℃～60℃。

7.根據權利要求6所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S1中，零件在所述堿性溶液中浸泡的時間為1小時～2小時。

8.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述酸性溶液的配比為體積比HNO₃:HF:H₂O＝1:1:2。

9.根據權利要求1或8所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S2中，零件在所述酸性溶液中清洗的時間為3秒～5秒。

10.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S3中，所述清潔液為18兆歐的去離子水。

11.根據權利要求10所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述清潔液的溫度為50℃。

12.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S3中，利用超聲波對零件進行清洗。

13.根據權利要求12所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述超聲波的頻率為40KHz。

14.根據權利要求13所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述超聲波的能量密度為25瓦/加侖～35瓦/加侖。

15.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S3中，零件清洗的時間為30分鐘～60分鐘。

16.根據權利要求1所述的去除附著于金屬零件表面硅化物薄膜的清洗方法，其特征在于，所述步驟S4中，是將零件置于高溫烘箱中，在150℃的環境下烘烤1.5小時～2小時，然后降到50℃～60℃，取出零件。